[实用新型]扩散泵加热器

说明书

本实用新型涉及一种扩散泵加热器，其中扩散泵是应用于全玻璃真空太阳能集热管镀膜设备的扩散泵。

目前国内外全玻璃真空管太阳能集热管镀膜工艺普遍采用的工艺设备含有扩散泵。扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。

高真空泵扩散泵主要结构有泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气导流管、加热器和冷却器等。其工作原理是扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度（约为200度）产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。这样，被抽气体分子沿着蒸气方向高速运动，气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进气多级压缩，最后由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环工作达到抽气目的。

扩散泵的原理决定了需要配有加热装置，以使其能够正常工作。当前普遍使用的扩散泵加热器是电阻式加热器，加热元件则是电阻丝，或者说电炉丝，不具备温度调节功能。在抽真空的过程中，加热器始终处于加热状态，不仅耗电量大，而且电炉丝也非常容易烧断。同时，一直加热会使扩散泵内扩散用的扩散泵油一直处于超温使用状态，使扩散泵油容易出现氧化而老化。扩散泵油价格非常昂贵，更换扩散泵油不仅会耗费较多的资金，操作也很麻烦。

为此，当前有采用功率控制的扩散泵加热器，但基于电炉加热的功率控制配置存在低端高配的问题，成本过高。

因此，本实用新型的目的在于提供一种能够有效控制加热且增加成本较少的扩散泵加热器。

本实用新型采用的技术方案为：

一种扩散泵加热器，为以电炉丝为加热元件的加热器，所述电炉丝分组地安装在电炉的炉体电炉丝槽内，并配有温度控制单元，输出连接各组电炉丝的通断控制电路；在扩散泵底部设有输入连接所述温度控制单元的温度传感器，以闭环控制扩散泵的加热温度。

从以上技术方案可以看出，依据本实用新型，仍然采用电炉丝作为加热元件，成本较低，电炉丝被分组，通过温度控制单元控制通断来控制温度，通断控制既需要开关量控制，结构非常简单，整体成本不高。

上述扩散泵加热器，所述电炉丝有三组，分别为加热阶段一直开启的保温电炉丝组、升温阶段开启而其余加热阶段关闭的升温电炉丝组和升温阶段开启而其余加热阶断补温的补温电炉丝组。

上述扩散泵加热器，在电炉的竖直投影片面内，保温电炉丝位于最里面，而升温电炉丝位于最外面。

上述扩散泵加热器，在电炉的竖直投影片面内，保温电炉丝位于最里面，而升温电炉丝位于最外面。

上述扩散泵加热器，每组电炉丝有一个电炉丝，且各组电炉丝共用一个零线端子，各自有火线端子。

图1为依据本实用新型的一种扩散泵加热器使用状态图。

图2为图1的A‑A剖视图。

图中：1、电炉，2、温控表，3、温度探头，4、电炉丝，5、电炉丝，6、电炉丝，7、接线盒，8、接线端子，9、扩散泵。 

为节约成本，且匹配电炉丝这种比较粗糙的加热元件，配置合理的电炉丝分组结构，使用通断控制方式，简化控制部分，整体成本地。使用中，可以让全部的电阻丝工作进行升温操作，而在升到设定温度后，可以进行保温加热，当温度不足时，可以在启用部分电炉丝进行补温，其整体控制仅仅是通断控制。

依据上段层面的构思，一种扩散泵加热器，为节约成本，仍然采用以电炉丝为加热元件的加热器，所述电炉丝分组地安装在电炉的炉体电炉丝槽内，并配有温度控制单元，输出连接各组电炉丝的通断控制电路；在扩散泵底部设有输入连接所述温度控制单元的温度传感器，以闭环控制扩散泵的加热温度。

显然，依据上述结构可知，在升温阶段所需要的热量最高，基于闭环控制，理论上为节约成本，所有的电炉丝都应该加入工作。而在扩散泵9的正常工作阶段，只需要保证扩散泵9处于合理的温区内即可，或者说在此阶段只需要保温。

受扩散泵工作的不同阶段对热量需求不同的影响，保温会存在一定程度的温度变化，为此，可以启动部分没有工作的电炉丝，以补偿过多的热量损失。