[实用新型]一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置

摘要

本实用新型公开了一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置，所述装置包括光源、投影物镜、探测器、工件台和掩模板，掩模板包括多照明模式模板和测试标记，激光将该测试标记经由投影物镜成像；探测器具有参考标记和在该参考标记下方的光电传感器，测试标记进行成像的激光经过该参考标记后照射在光电传感器上；工作台承载探测器，并在水平或垂直方向能够移动，根据光电传感器输出的电信号的强度能够判断测试标记像的位置，根据表示投影物镜像差和位置偏移量关系的矩阵可在线得到所述投影物镜的波像差。本实用新型只需要经过一次照明和一次测量即可实现多照明模式下位置偏移量的测量，显著地提高了投影物镜波像差检测的速度。

主权项

一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置，包括光源(LA)、投影物镜(PO)、探测器(DE)和工件台(ST)，所述光源(LA)用于出射激光，其特征在于：所述装置还包括掩模板(MA)，其上具有测试标记(7)，所述激光将该测试标记(7)经由所述投影物镜(PO)成像；所述探测器(DE)具有一个表面和在该表面以下的光电传感器，所述表面上设置有参考标记；所述对测试标记(7)进行成像的激光经过该参考标记后照射在所述光电传感器上；所述工作台(ST)用于承载所述探测器(DE)，该工作台可以在水平、垂直方向上移动。