[实用新型]移载装置

摘要

一种移载装置，运用于机台，用以检测待测物，包含：放置待测物的载盘，连接于机台；透光检测盘，包含第一面及第二面，透光检测盘连接于机台，以放置待测物；载台本体，连接于机台而邻近于载盘与透光检测盘的一侧；真空吸持件，连接于载台本体，以吸持载盘上的待测物，且移载待测物至透光检测盘的第一面上；及二光学检测组件，分别位于透光检测盘的二侧，以检测待测物。如此，藉由透光检测盘的设置，以及利用载台本体将待测物自载盘移载至透光检测盘上，使光学检测组件能经由不同面向直接于透光检测盘上对待测物作检测，解决已知粹盘无法作双面检测，并且需要翻转料片的问题。

主权项

一种移载装置，运用于一机台，以检测待测物，其特征在于：该装置包含：载盘，连接于该机台，以放置该待测物；透光检测盘，包含第一面及第二面，该透光检测盘连接于该机台，以放置该待测物；载台本体，连接于该机台而邻近于该载盘与该透光检测盘的一侧；真空吸持件，连接于该载台本体，以吸持该载盘上的该待测物，且移载该待测物至该透光检测盘的该第一面上；及二光学检测组件，分别位于该透光检测盘的二侧，其中一该光学检测组件面对该第一面检测该待测物，另一该光学检测组件面对该第二面检测该待测物。