[实用新型]移载装置

说明书

本实用新型是一种移载装置，特别是一种可经由透光检测盘检测的移载装置。

随着科技的进步以及知识的进展，半导体或是面板等科技产业亦发展迅速，而如何提升产品良率，亦是每家厂商所关心的议题，无论是材料或是制程，甚或是检验，在每个过程中皆是环环相扣，而为了检测出人眼难以窥见的缺陷，通常需要较为精密的检测仪器协助检测。

目前科技厂商在藉助仪器进行检测时，大多都需要透过光学组件检测。但传统检测机台，于检测料片时，仅能对料片的一面作检测，如需要对另一面作检测时，常需要再藉由其它装置翻转料片，基此，传送机台需要有额外空间用以进行翻转工程，以达到料片能够进行双面检测。

此外，传统机台进行料片检测的检测托盘(Tray)，其光学组件仅能位于检测托盘的上方对料片作检测，而无法透过其它方向对料片检测，因此，亦造成要对料片作双面检测时，需要先对料片翻面才能进行检测的步骤。

因此，如何改良移载装置，使得移载装置能于检测托盘上直接进行多个面向的检测，而无需透过翻转料片，亦能完成检测料片的工作为本案的创作人以及本领域的技术人员亟欲改善的课题。

本实用新型所要解决的技术问题是：针对上述现有技术中已知粹盘无法作双面检测且需要翻转料片的不足，提出一种移载装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种移载装置，运用于一机台，以检测待测物，其特点是：该装置包含：载盘，连接于该机台，以放置该待测物；透光检测盘，包含第一面及第二面，该透光检测盘连接于该机台，以放置该待测物；载台本体，连接于该机台而邻近于该载盘与该透光检测盘的一侧；真空吸持件，连接于该载台本体，以吸持该载盘上的该待测物，且移载该待测物至该透光检测盘的该第一面上；及二光学检测组件，分别位于该透光检测盘的二侧，其中一该光学检测组件面对该第一面检测该待测物，另一该光学检测组件面对该第二面检测该待测物。

本实用新型所采用的另一种技术方案是：一种移载装置，运用于一机台，以检测待测物，其特点是：该装置包含：载盘，连接于该机台，以放置该待测物；透光检测盘，包含第一面及第二面，该透光检测盘连接于该机台，以放置该待测物；载台本体，连接于该机台而邻近于该载盘与该透光检测盘的一侧；翻转机构，连接于该载台本体，以翻转该透光检测盘及该载盘，使该待测物移载至该透光检测盘；及二光学检测组件，分别位于该透光检测盘的二侧，其中一该光学检测组件面对该第一面检测该待测物，另一该光学检测组件面对该第二面检测该待测物。

所述透光检测盘邻近于该载盘，且与该载盘呈同一水平面。

所述透光检测盘邻近于该载盘，且与该载盘呈同一水平面。

所述载盘和透光检测盘为真空射出成型。

所述载盘与该透光检测盘分别更包含数个以置放该待测物的容置槽。

所述载台本体更包含驱动轴，该驱动轴的一端连接于该真空吸持件，以驱动该真空吸持件移载该待测物至该透光检测盘。

如此，藉由透光检测盘的设置，以及利用载台本体将待测物自载盘移载至透光检测盘上，使光学检测组件能经由不同面向直接于透光检测盘上对待测物作检测，解决已知检测托盘无法作双面检测，并且需要翻转料片的问题。

以下在实施方式中详细叙述本实用新型的详细特征以及优点，其内容足以使任何本领域的技术人员可了解本实用新型的技术内容并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、申请专利范围及图式，任何本领域的技术人员可轻易地理解实用新型相关的目的及优点。

图1为本实用新型移载装置的示意图一。

图2为本实用新型移载装置的俯视图。

图3为本实用新型移载装置的示意图二。

图4为本实用新型移载装置另一实施例的示意图。

图4为本实用新型移载装置另一实施例的示意图。

标号说明

10载盘                20透光检测盘

21第一面              22第二面

30载台本体            31驱动轴

40真空吸持件           50光学检测组件

60待测物              70容置槽

80翻转机构

请参阅图1所示，图1为本实用新型移载装置的示意图一。本实用新型的移载装置，运用于机台(图中未示)，用以检测待测物60，包含有载盘10、透光检测盘20、载台本体30、真空吸持件40及光学检测组件50。