[实用新型]研磨盘驱动装置的保护盖有效
| 申请号： | 201320028398.0 | 申请日： | 2013-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN203031444U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 张巍;周敏浩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种研磨盘驱动装置的保护盖，所述研磨盘驱动装置的保护盖包括盖板和侧壁。其中，所述盖板与所述侧壁连接，所述盖板的边缘设有凹槽。本实用新型提供的研磨盘驱动装置的保护盖上设有凹槽，研磨盘驱动装置的保护盖上面的水会流入凹槽中，不会流到研磨垫上，由此也就避免了水流到研磨垫上影响研磨作业的问题，提高了化学机械研磨工艺的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 驱动 装置 保护 | ||
【主权项】：
一种研磨盘驱动装置的保护盖，其特征在于，包括：盖板和侧壁；其中，所述盖板与所述侧壁连接；所述盖板的边缘设有凹槽。
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