[实用新型]脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统有效
| 申请号： | 201320019409.9 | 申请日： | 2013-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN203049089U | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 赵昆;杨本润;陈少华 | 申请（专利权）人： | 中国石油大学(北京) |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B25/16 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 赵燕力 |
| 地址： | 102249*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统，该系统包括真空反应腔，真空反应腔内设有中空样品台，该中空样品台底端封闭上端设有上盖，中空样品台内设有光加热器；该中空样品台封闭端下侧设有基底；该真空反应腔设有与高压气瓶导通的进气口；一气体馈入装置设置在真空反应腔外侧并通过一注入口与真空反应腔导通；气体馈入装置包括连通于注入口的蒸发器，蒸发器的进口端与微量液体馈入装置导通；该微量液体馈入装置由一盛放前驱体溶液的钢罐和电磁喷射阀构成，电磁喷射阀的喷口与蒸发器的进口端密封导通，钢罐连通于高压气瓶，所述电磁喷射阀与一控制装置电连接；控制装置控制液体馈入装置将前驱体以脉冲方式注入蒸发器中。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 注入 金属 有机化学 沉积 系统 | ||
【主权项】：
一种脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统，该金属有机化学气相沉积系统包括有密封连通于真空泵的真空反应腔，真空反应腔内设有真空计和测温计；其特征在于：所述真空反应腔上端设有开口，构成样品放入端，该真空反应腔设有与高压气瓶导通的进气口；一气体馈入装置设置在真空反应腔外侧并通过一注入口与真空反应腔导通；所述气体馈入装置包括连通于注入口的蒸发器，蒸发器的进口端与微量液体馈入装置导通，该微量液体馈入装置连通于高压气瓶；该微量液体馈入装置由一盛放前驱体溶液的钢罐和电磁喷射阀构成，电磁喷射阀的喷口与蒸发器的进口端密封导通，钢罐连通于高压气瓶，所述电磁喷射阀与一控制装置电连接；所述真空反应腔内由其上端开口放入一中空样品台，该中空样品台底端封闭上端设有上盖，中空样品台内设有光加热器；中空样品台上端与真空反应腔上端开口密封连接；该中空样品台封闭端下侧设有基底。
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