[实用新型]脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统

权利要求书

1.一种脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统，该金属有机化学气相沉积系统包括有密封连通于真空泵的真空反应腔，真空反应腔内设有真空计和测温计；其特征在于：所述真空反应腔上端设有开口，构成样品放入端，该真空反应腔设有与高压气瓶导通的进气口；一气体馈入装置设置在真空反应腔外侧并通过一注入口与真空反应腔导通；所述气体馈入装置包括连通于注入口的蒸发器，蒸发器的进口端与微量液体馈入装置导通，该微量液体馈入装置连通于高压气瓶；该微量液体馈入装置由一盛放前驱体溶液的钢罐和电磁喷射阀构成，电磁喷射阀的喷口与蒸发器的进口端密封导通，钢罐连通于高压气瓶，所述电磁喷射阀与一控制装置电连接；所述真空反应腔内由其上端开口放入一中空样品台，该中空样品台底端封闭上端设有上盖，中空样品台内设有光加热器；中空样品台上端与真空反应腔上端开口密封连接；该中空样品台封闭端下侧设有基底。

2.如权利要求1所述的脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统，其特征在于：所述蒸发器的进口端与多个微量液体馈入装置导通。

3.如权利要求1所述的脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统，其特征在于：所述光加热器固定设置在上盖；所述光加热器由多个灯泡构成。

4.如权利要求1所述的脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统，其特征在于：所述上盖与一机械升降杆固定连接，该机械升降杆由电机通过传动装置驱动。

5.如权利要求4所述的脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统，其特征在于：所述中空样品台的侧壁是由双层圆桶构成的夹层结构，该夹层空间上设有进水孔和出水孔，进水孔和出水孔之间连接有水泵构成水冷循环系统。

6.如权利要求1所述的脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统，其特征在于：所述中空样品台封闭端下侧固定有一个镂空样品架，所述基底放置在镂空样品架上的镂空处；所述镂空孔与基底形状相同；所述镂空孔的内缘设有凸缘，所述基底的边缘搭设在凸缘上。

7.如权利要求1所述的脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统，其特征在于：所述气体馈入装置及其相应的连接管道上覆设有柔性烘烤加热器；该柔性烘烤加热器由加热带构成。

8.如权利要求7所述的脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统，其特征在于：所述光加热器功率为8000-9000W，最高加热温度为800℃；柔性烘烤加热器总功率为1000W，最高加热温度为300℃。

9.如权利要求1所述的脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统，其特征在于：所述测温计固定于真空反应腔封闭端，测温计的探针高度与基底一致。

10.如权利要求1所述的脉冲注入式金属有机化学气相沉积系统，其特征在于：所述真空反应腔上端开口处设有第一法兰；该真空反应腔由第一法兰固定于一壳体上；中空样品台上端设有第二法兰，该第二法兰设于第一法兰顶部；所述第一法兰与第二法兰的结合面上设有密封圈。