[发明专利]一种硅片收集设备的监测装置无效
| 申请号： | 201310754109.X | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103707428A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 聂金根 | 申请（专利权）人： | 镇江市港南电子有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;B28D5/00 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片收集设备的监测装置包括信号采集模块，信号处理模块，存储模块，显示模块，报警模块，复位模块；其中所述信号采集模块包括温度传感器，湿度传感器，硬度传感器，计数传感器；所述信号处理模块为CPU;所述存储模块为rom存储器。所述显示模块为LCD显示屏；所述报警模块为信号报警器；所述复位模块包括复位按键。本发明可以使操作人员清楚的看到收集槽中硅片的具体数量，大大减少了人工带来的问题，并且本操作简单，增强了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 收集 设备 监测 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片收集设备的监测装置包括信号采集模块，信号处理模块，存储模块，显示模块，报警模块，复位模块；其中所述信号采集模块包括温度传感器，湿度传感器，硬度传感器，计数传感器；所述信号处理模块为CPU;所述存储模块为rom存储器；所述显示模块为LCD显示屏；所述报警模块为信号报警器；所述复位模块包括复位按键。
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