[发明专利]一种硅片收集设备的监测装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种监测装置，具体涉及一种硅片收集设备的监测装置。

背景技术

硅片加工过程中，为了保证硅片的设计要求，要求硅片进行切割。切割后的硅片通过收集装置进行收集。在收集过程中，硅片下落时可能会掉落到外部，从而对硅片表面造成损伤，从而影响硅片的加工质量。目前采用人工的方式来对收集槽进行替换这样可能导致收集的硅片过多，或缺少，很难控制整齐的数量，不利于硅片的收集。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对以上弊端提供一种硅片收集设备的监测装置，本装置结构简单，操作简单，功能全面的一种硅片收集设备的监测装置。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：

一种硅片收集设备的监测装置包括信号采集模块，信号处理模块，存储模块，显示模块，报警模块，复位模块；其中所述信号采集模块包括温度传感器，湿度传感器，硬度传感器，计数传感器；所述信号处理模块为CPU;所述存储模块为rom存储器。所述显示模块为LCD显示屏；所述报警模块为信号报警器；所述复位模块包括复位按键。

所述信号采集模块与信号处理模块、存储模块、显示模块依次相连，所述信号处理模块与报警模块连接，所述报警模块与复位模块相连。

工作时，信号采集模块通过信号采集模块中的各个传感器采集信号，然后将信号传递给信号处理模块中的CPU经行处理，处理完成后将数据传输给存储模块中的rom存储器，再将存储器中数据通过显示模块中的LCD显示器显示出结果。当信号采集模块中的计数传感器采集到硅片数量快达到指定数量时，通过CPU处理完后直接传输到报警模块中的信号报警器，从而发出报警声，人工处理完后按复位键恢复正常运作。

本发明的有益效果：

所述信号采集模块用于采集硅片收集设备的监测装置的状态及参数；所述信号处理模块用于处理采集模块中的数据；所述存储模块用来存储采集模块及信号处理模块中的数据；所述计数模块用于计算收集的硅片数量；所述显示模块用于显示硅片数量及存储模块中的数据；所述报警模块用于当数量快达到收集槽的最大容量时，进行报警；所述复位模块用于消除报警，并让监测装置继续工作。本发明可以使操作人员清楚的看到收集槽中硅片的具体数量，大大减少了人工带来的问题，并且本操作简单，增强了工作效率。

附图说明

图1为本发明的结构示意图

具体实施方式

如图所示一种硅片收集设备的监测装置包括信号采集模块1，信号处理模块2，存储模块3，显示模块4，报警模块5，复位模块6；所述信号采集模1块包括温度传感器11，湿度传感器12，硬度传感器13，计数传感器14；所述信号处理模块2为CPU21;所述存储模块3为rom存储器31。所述显示模块4为LCD显示屏41；所述报警模块5为信号报警器51；所述复位模块6包括复位按键61。

所述信号采集模块1与信号处理模块2、存储模块3、显示模块4依次相连，所述信号处理模块2与报警模块5连接，所述报警模块5与复位模块6相连。

工作时，信号采集模块1通过信号采集模块1中的各个传感器采集信号，然后将信号传递给信号处理模块中的CPU21经行处理，处理完成后将数据传输给存储模块中的rom存储器，31再将存储器中数据通过显示模块中的LCD显示器41显示出结果。当信号采集模块中的计数传感器14采集到硅片数量快达到指定数量时，通过CPU21处理完后直接传输到报警模块5中的信号报警器51，从而发出报警声，人工处理完后按复位键61恢复正常运作。

本发明可以使操作人员清楚的看到收集槽中硅片的具体数量，大大减少了人工带来的问题，并且本操作简单，增强了工作效率。

这里本发明的描述和应用是说明性的，并非想将本发明的范围限制在上述实施例中，因此，本发明不受本实施例的限制，任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护的范围内。