[发明专利]金属镁的预处理装置和方法有效

专利信息
申请号: 201310753927.8 申请日: 2013-12-31
公开(公告)号: CN103740949A 公开(公告)日: 2014-04-23
发明(设计)人: 邹清华;吴聪原;张鑫狄 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: C22B26/22 分类号: C22B26/22;C22B9/02;C22B9/04
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人: 林才桂
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种金属镁的预处理装置及方法,所述装置包括:腔体(20)、安装于腔体(20)内的加热装置(22)、设于腔体(20)上的进气口(24)及设于腔体(20)上的抽气口(26),所述进气口(24)与外界的惰性气体注入设备相连通,用于向腔体(20)内注入惰性气体,所述抽气口(26)与外部真空抽气装置相连通,用于将腔体(20)内抽成真空,所述加热装置(22)用于加热表面被氧化的金属镁,在真空环境下使得金属镁表面的一层氧化镁挥发,得到纯金属镁。本发明可以除去金属镁颗粒表面的氧化镁,降低氧化镁的含量,使得在镀膜腔体中,只需预处理极少量的氧化镁,可以防止镀膜腔体被大量氧化镁污染,并大大降低由氧化镁导致的产品不良的机率。
搜索关键词: 金属镁 预处理 装置 方法
【主权项】:
一种金属镁的预处理装置,其特征在于,包括:腔体(20)、安装于腔体(20)内的加热装置(22)、设于腔体(20)上的进气口(24)及设于腔体(20)上的抽气口(26),所述进气口(24)与外界的惰性气体注入设备相连通,用于向腔体(20)内注入惰性气体,所述抽气口(26)与外部真空抽气装置相连通,用于将腔体(20)内抽成真空,所述加热装置(22)用于加热表面被氧化的金属镁,在真空环境下使得金属镁表面的一层氧化镁挥发,得到纯金属镁。
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