[发明专利]金属镁的预处理装置和方法有效
| 申请号: | 201310753927.8 | 申请日: | 2013-12-31 |
| 公开(公告)号: | CN103740949A | 公开(公告)日: | 2014-04-23 |
| 发明(设计)人: | 邹清华;吴聪原;张鑫狄 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | C22B26/22 | 分类号: | C22B26/22;C22B9/02;C22B9/04 |
| 代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
| 地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 金属镁 预处理 装置 方法 | ||
1.一种金属镁的预处理装置,其特征在于,包括:腔体(20)、安装于腔体(20)内的加热装置(22)、设于腔体(20)上的进气口(24)及设于腔体(20)上的抽气口(26),所述进气口(24)与外界的惰性气体注入设备相连通,用于向腔体(20)内注入惰性气体,所述抽气口(26)与外部真空抽气装置相连通,用于将腔体(20)内抽成真空,所述加热装置(22)用于加热表面被氧化的金属镁,在真空环境下使得金属镁表面的一层氧化镁挥发,得到纯金属镁。
2.如权利要求1所述的金属镁的预处理装置,其特征在于,所述进气口(24)上设置有进气阀门(242),用于控制进气口(24)的打开与关闭;所述抽气口(26)上设有抽气阀门(262),用于控制抽气口(26)的打开与关闭。
3.如权利要求2所述的金属镁的预处理装置,其特征在于,还包括控制装置,用于控制所述进气阀门(242)与抽气阀门(262)的开与关。
4.如权利要求3所述的金属镁的预处理装置,其特征在于,还包括设置于腔体(20)内的氧气传感器(21)、设置于腔体(20)内的真空计(23),所述氧气传感器(21)用于检测腔体(20)内的氧气含量,所述真空计(23)用于检测腔体(20)内的压力。
5.如权利要求3所述的金属镁的预处理装置,其特征在于,所述加热装置(22)包括底座(222)、设于底座(222)上的加热线圈(224)及设于底座(222)上且位于加热线圈(224)外围的罩体(226),所述加热线圈(224)由铁铬铝合金或镍铬合金电热丝缠绕制成;所述底座(222)与罩体(226)均由金属制成,该加热装置(22)通过控制装置控制是否进行加热。
6.如权利要求5所述的金属镁的预处理装置,其特征在于,所述罩体(226)内安装有温度传感器(228),用于检测加热装置(22)的温度。
7.如权利要求1所述的金属镁的预处理装置,其特征在于,所述腔体(20)内还设有照明装置(25),且该腔体(20)的一个侧壁上设有透明开窗(27),用于观察腔体(20)内表面被氧化的金属镁的熔融状况。
8.如权利要求1所述的金属镁的预处理装置,其特征在于,还包括可拆卸安装于腔体(20)内的内衬防着板(60)。
9.如权利要求3所述的金属镁的预处理装置,其特征在于,所述控制装置安装于腔体(20)上或集成于镀膜机上。
10.一种金属镁的预处理方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1、提供预处理装置,该预处理装置包括:腔体(20)、安装于腔体(20)内的加热装置(22)、设于腔体(20)上的进气口(24)及设于腔体(20)上的抽气口(26),所述进气口(24)与外界的惰性气体注入设备相连通,所述抽气口(26)与外部真空抽气装置相连通;
步骤2、将表面被氧化的金属镁置于坩埚内,并将坩埚放置于加热装置(22)上;
步骤3、通过抽气口(26)将腔体(20)内抽成真空;
步骤4、通过进气口(24)向腔体(20)内注入惰性气体;
步骤5、重复步骤3与步骤4,至腔体(20)内的氧气含量小于1ppm;
步骤6、通过抽气口(26)将腔体(20)内抽成真空,使得腔体(20)内的压强小于或等于10-4Pa;
步骤7、通过加热装置(22)加热表面被氧化的金属镁,使得氧化镁完全挥发;
步骤8、进行冷却后,得到纯金属镁;
所述进气口(24)上设置有进气阀门(242),用于控制进气口(24)的打开与关闭;所述抽气口(26)上设有抽气阀门(262),用于控制抽气口(26)的打开与关闭;
所述预处理装置还包括控制装置,用于控制所述进气阀门(242)与抽气阀门(262)的开与关;
所述预处理装置还包括设置于腔体(20)内的氧气传感器(21)、设置于腔体(20)内的真空计(23),所述氧气传感器(21)用于检测腔体(20)内的氧气含量,所述真空计(23)用于检测腔体(20)内的压力;
所述加热装置(22)包括底座(222)、设于底座(222)上的加热线圈(224)及设于底座(222)上且位于加热线圈(224)外围的罩体(226),所述加热线圈(224)由铁铬铝合金、或镍铬合金电热丝缠绕制成;所述底座(222)与罩体(226)均由金属制成,该加热装置(22)通过控制装置控制是否进行加热;
所述罩体(226)内安装有温度传感器(228),用于检测加热装置(22)的温度;
所述腔体(20)内还设有照明装置(25),且该腔体(20)的一个侧壁上设有透明开窗(27),用于观察腔体(20)内表面被氧化的金属镁的熔融状况;
所述预处理装置还包括可拆卸安装于腔体(20)内的内衬防着板(60);
所述控制装置安装于腔体(20)上或集成于镀膜机上。
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