[发明专利]一种频率可切换的微机械谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 201310750721.X | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103762956A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 赵晖;杨晋玲;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H3/007 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种频率可切换的微机械谐振器及其制作方法。所述谐振腔包括：中柱；可动结构，其由连接至其质心的中柱支撑；多个驱动/检测电极，其呈放射状位于可动结构的周围；空气或固体间隙，位于所述可动结构和各驱动/检测电极之间。其中，所述多个驱动/检测电极中的部分电极连接在一起形成驱动电极，其余电极连接在一起形成检测电极。本发明在保持谐振器尺寸不减小的情况下，利用谐振器的高阶模态实现了更高频率的输出，同时减小了锚点损失，仍保持高品质因子。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 频率 切换 微机 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种频率可切换的微机械谐振器，其包括：中柱；可动结构，其由连接至其质心的中柱支撑；多个驱动/检测电极，其呈放射状位于可动结构的周围；所述多个驱动/检测电极中的部分电极连接在一起形成驱动电极，其余电极连接在一起形成检测电极；空气或固体间隙，位于所述可动结构和各驱动/检测电极之间。
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