[发明专利]一种太赫兹光电探测器有效
申请号: | 201310746552.2 | 申请日: | 2013-12-30 |
公开(公告)号: | CN103715291A | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 王丰;曹俊诚 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L31/08 | 分类号: | H01L31/08 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种太赫兹光电探测器,所述太赫兹光电探测器至少包括:表面覆盖有介质层的衬底、形成于所述介质层表面的单层石墨烯、设置于所述单层石墨烯两端的第一金属电极以及形成于所述衬底背面的第二金属电极;所述第一金属电极之间设置有测量电压变化的电流源;所述第二金属电极与单层石墨烯其中一端的第一金属电极之间设置有提供偏置电压的电压源,通过调节所述偏置电压来调制所述单层石墨烯光电导的特征峰位置,从而实现太赫兹频率的探测。 | ||
搜索关键词: | 一种 赫兹 光电 探测器 | ||
【主权项】:
一种太赫兹光电探测器,其特征在于,所述太赫兹光电探测器至少包括:表面覆盖有介质层的衬底、形成于所述介质层表面的单层石墨烯、设置于所述单层石墨烯两端的第一金属电极以及形成于所述衬底背面的第二金属电极;所述第一金属电极之间设置有测量电压变化的电流源;所述第二金属电极与单层石墨烯其中一端的第一金属电极之间设置有提供偏置电压的电压源,通过调节所述偏置电压来调制所述单层石墨烯光电导的特征峰位置,从而实现太赫兹频率的探测。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的