[发明专利]基于辉光放电的等离子体发生装置及构成的光谱检测系统有效
申请号: | 201310732980.X | 申请日: | 2013-12-26 |
公开(公告)号: | CN103776818A | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 段忆翔;李雪梅;孟凡英 | 申请(专利权)人: | 四川大学 |
主分类号: | G01N21/73 | 分类号: | G01N21/73 |
代理公司: | 成都科海专利事务有限责任公司 51202 | 代理人: | 吕建平 |
地址: | 610065 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于辉光放电的等离子体发生装置及由其构成的光谱检测系统,所述光谱检测系统主要由进样系统、电源、电等离子体发生装置、光检测系统和数据处理系统构成,其中等离子体发生装置主要包括两个放电电极和位于绝缘材质发生装置本体内依次连通的工作气进气腔、放电腔和缓冲腔,所述进气腔为管腔结构,所述放电腔垂直于工作气进气方向的一个侧面为敞开结构,两个放电电极相对设置在放电腔另一个方向的两侧面上,所述缓冲腔面对工作气进气方向的一方为封闭面,工作气体由进气腔进入经位于两放电电极之间的放电腔被电离后从放电腔敞开口排出,具有结构简单、体积小、功率低、耗气量小的特点,能够确保光谱检测系统发展成为便携式设备。 | ||
搜索关键词: | 基于 辉光 放电 等离子体 发生 装置 构成 光谱 检测 系统 | ||
【主权项】:
一种基于辉光放电的等离子体发生装置,其特征在于:包括两个放电电极和位于发生装置本体内依次连通的工作气进气腔、放电腔和缓冲腔,所述进气腔为管腔结构,所述放电腔其垂直于工作气进气方向的一个方向中的一个侧面为敞开结构,两个放电电极相对设置在放电腔另一个方向的两侧面上,所述缓冲腔其面对工作气进气方向的一方为封闭面,工作气体由进气腔进入经位于两放电电极之间的放电腔被电离后从放电腔敞开口排出。
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