[发明专利]基于辉光放电的等离子体发生装置及构成的光谱检测系统

权利要求书

1.一种基于辉光放电的等离子体发生装置，其特征在于：包括两个放电电极和位于发生装置本体内依次连通的工作气进气腔、放电腔和缓冲腔，所述进气腔为管腔结构，所述放电腔其垂直于工作气进气方向的一个方向中的一个侧面为敞开结构，两个放电电极相对设置在放电腔另一个方向的两侧面上，所述缓冲腔其面对工作气进气方向的一方为封闭面，工作气体由进气腔进入经位于两放电电极之间的放电腔被电离后从放电腔敞开口排出。

2.根据权利要求1所述的基于辉光放电的等离子体发生装置，其特征在于：所述进气腔的形状为沿进气方向等矩形断面的腔体，或为自进气端口到出气端口方向矩形断面面积逐渐减小的腔体，或为沿进气方向等圆形断面的圆柱形腔体，或为自进气端口到出气端口方向圆形断面面积逐渐减小的圆锥形腔体。

3.根据权利要求2所述的基于辉光放电的等离子体发生装置，其特征在于：矩形断面进气腔出气端口的宽度与高度之比为(0.001～200):1，圆形断面进气腔出口半径为0.001～200mm。

4.根据权利要求1或2或3所述的基于辉光放电的等离子体发生装置，其特征在于：在工作气进气方向，缓冲腔的腔体轴线与放电腔的腔体轴线平行，缓冲腔于垂直于工作气进气方向的断面面积不小于放电腔的断面面积。

5.根据权利要求1或2或3所述的基于辉光放电的等离子体发生装置，其特征在于：设置在放电腔两侧的两个放电电极位于连接进气腔工作气出口处。

6.根据权利要求1或2或3所述的基于辉光放电的等离子体发生装置，其特征在于，发生装置腔体的材质为绝缘体材料。

7.根据权利要求1或2或3所述的基于辉光放电的等离子体发生装置，其特征在于：所述放电电极的放电端为平面或针尖状，放电电极的材质为导电材料。

8.权利要求1至7之一所述基于辉光放电的等离子体发生装置构成的等离子体激发光谱检测系统，其特征在于：主要包括进样系统、电源、基于辉光放电等离子体发生装置、对发生装置发出的检测光进行收集、传输、分光、检测的检测系统，以及对所述检测系统输出的信号进行分析处理的数据处理系统，进样系统的工作气体与基于辉光放电等离子体发生装置的进气腔进口连接，检测系统的检测光采集端与基于辉光放电等离子体发生装置的放电腔敞开口相对应，数据处理系统的信号输入端与检测系统的信号输出端连接，基于辉光放电等离子体发生装置的两个放电电极与电源连接。

9.根据权利要求8所述的基于辉光放电的等离子体激发光谱检测系统，其特征在于：在两个放电电极与电源形成的辉光放电回路上串联有限流电阻，以防止辉光放电转变为弧光放电。

10.根据权利要求9所述的基于辉光放电的等离子体激发光谱检测系统，其特征在于：电源为直流电源或为频率从工频至13.56MHz射频可调的交流电源，电源模式为连续模式或为脉冲模式。