[发明专利]流量传感器及其制造方法以及流量传感器组件

摘要

本发明涉及流量传感器及其制造方法及流量传感器组件，提供用树脂封固半导体元件的一部分与电气控制回路表面的流量传感器的结构。使用如下空气流量传感器的结构，具备：半导体元件，其形成有空气流量检测部和流量孔板；以及基板或引线框，其配置有用于控制半导体元件的电气控制回路部，在使空气流量检测部露出的状态下，包含半导体元件的一部分表面在内，电气控制回路部的表面用树脂覆盖。提供树脂模型、基板、预模制的预模制部件等的面在不与半导体元件的和空气流量检测部分的设置面正交的三个面连续接触的状态下，包围半导体元件的流量传感器的结构，或通过弹簧的变形或弹性体薄膜在壁厚方向的变形而能够吸收半导体元件的尺寸偏差的制造方法。

主权项

一种流量传感器，其特征在于，具备：装载于预模制部件上的形成有空气流量检测部和流量孔板的半导体元件；控制该半导体元件的电气控制回路部；以及装载上述半导体元件和上述电气控制回路部的引线框，上述半导体元件的与设有上述空气流量检测部的面相反侧的面的一部分区域通过粘接剂连接在上述预模制部件上。