[发明专利]含Al2O3陶瓷纳米薄膜的聚四氟乙烯多层膜复合方法无效
| 申请号： | 201310725739.4 | 申请日： | 2013-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN103643215A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 汤卉;邵璇;李磊;沙宇;邵俊鹏 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/08;C23C14/12;C08J7/04 |
| 代理公司： | 哈尔滨东方专利事务所 23118 | 代理人： | 陈晓光 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 含Al2O3陶瓷纳米薄膜的聚四氟乙烯多层膜复合方法。由于聚四氟乙烯材料的磨擦系数较小，且随着水利发电机组中推力轴瓦(EMP)，尤其是在停机时油膜失去作用，产生瞬时干磨擦现象对轴承损伤严重。本发明方法包括将聚四氟乙烯样品进行表面处理，包括用酒精润湿表面，之后将所述的聚四氟乙烯样品放入带有丙酮液的超声波清洗仪中进行清洗，之后将所述的聚四氟乙烯样品放入100℃的干燥箱中恒温干燥1.5小时，冷却后待用；在MEVVA80-10型离子注入机中注入能量为50KeV、剂量为1X1017ion/cm2的N+离子，对靶进行清洗；对第一步预处理后的聚四氟乙烯样品进行离子注入技术处理。本发明用于聚四氟乙烯复合膜磨损性能的提高。 | ||
| 搜索关键词： | al sub 陶瓷 纳米 薄膜 聚四氟乙烯 多层 复合 方法 | ||
【主权项】：
一种含Al2O3陶瓷纳米薄膜的聚四氟乙烯多层膜复合方法，其特征是：第一步，将聚四氟乙烯样品进行表面处理，包括用酒精润湿表面，之后将所述的聚四氟乙烯样品放入带有丙酮液的超声波清洗仪中进行清洗，之后将所述的聚四氟乙烯样品放入100℃的干燥箱中恒温干燥1.5小时，冷却后待用；第二步，在MEVVA80‑10型离子注入机中注入能量为50KeV、剂量为1X1017ion/cm2的N+离子，对靶进行清洗；第三步，对第一步预处理后的聚四氟乙烯样品进行离子注入技术处理：将预处理后的所述的聚四氟乙烯样品放入所述的MEVVA80‑10型离子注入机中并将其作为阳极靶，再以PTFE靶和Al靶分别作为阴极靶，交替注入，进行离子注入沉积形成多层纳米复合膜产品。
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