[发明专利]一种真空镀膜生产线用阴极装置有效
| 申请号： | 201310688492.3 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN104018129A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 黄国兴;孙桂红;祝海生;黄乐;梁红;吴永光 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 411101 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜生产线用阴极装置，包括阴极组件和平移组件，所述阴极组件与平移组件固定连接且随所述平移组件的运动平动，其中所述阴极组件中的阴极为平面磁控溅射阴极。与现有技术相比，本发明提供的阴极装置不仅可维持平面阴极的低成本易维护的优点，亦实现了旋转阴极的靶材和轰击轨道可变这一优点，且实现平动的附加部件结构简单，不会影响真空密封性，同样也不会成为生产线中的不确定因素；因此，该阴极装置具有极大的经济价值，且环境友好，减少了靶材的浪费，故而其应用前景十分广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 生产线 阴极 装置 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜生产线用阴极装置，其特征在于：包括阴极组件和平移组件，所述阴极组件与平移组件固定连接且随所述平移组件的运动平动，其中所述阴极组件中的阴极为平面磁控溅射阴极；所述阴极组件与平移组件通过一绝缘件连接。
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