[发明专利]一种真空镀膜生产线用阴极装置

权利要求书

1.一种真空镀膜生产线用阴极装置，其特征在于：包括阴极组件和平移组件，所述阴极组件与平移组件固定连接且随所述平移组件的运动平动，其中所述阴极组件中的阴极为平面磁控溅射阴极；所述阴极组件与平移组件通过一绝缘件连接。

2.如权利要求1所述的真空镀膜生产线用阴极装置，其特征在于：所述平移组件由外至内依次为移动件、滑轨件、安装件和支撑件，其中所述移动件分别与所述绝缘件和滑轨件中的滑块连接，所述安装件与滑轨件中的滑轨连接，且所述安装件与支撑件连接。

3.如权利要求1所述的真空镀膜生产线用阴极装置，其特征在于：所述平移组件包括移动件、滚珠丝杠件、安装件和支撑件，其中所述移动件分别与绝缘件和滚珠丝杠件中的螺母连接，所述安装件与滚珠丝杠件中的固定件连接，且所述安装件与支撑件连接。

4.如权利要求1所述的真空镀膜生产线用阴极装置，其特征在于：其中平移组件包括移动件、滑轨件、滚珠丝杠件、安装件和支撑件；所述移动件分别连接滑轨件中的滑块和滚珠丝杠件的螺母，安装件分别连接滑轨件中的滑轨和滚珠丝杠件的固定件。

5.如权利要求3或4所述的真空镀膜生产线用阴极装置，其特征在于：所述滚珠丝杠件经电机驱动，由所述电机电驱动滚珠丝杠件中螺杆旋转。

6.如权利要求7所述的真空镀膜生产线用阴极装置，其特征在于：所述电机为一伺服电机，包括一转轴，并通过一同步带啮合所述转轴和滚珠丝杠件中的螺杆，传动滚珠丝杠件。

7.如权利要求6所述的真空镀膜生产线用阴极装置，其特征在于：所述平移组件至少包括两个滑轨件且分布于滚珠丝杠件的两侧。

8.如权利要求1所述的真空镀膜生产线用阴极装置，其特征在于：平移组件还包括一光电感应器，分设于滚珠丝杠件的螺杆的两侧。

9.如权利要求1所述的真空镀膜生产线用阴极装置，其特征在于：所述阴极组件包括靶材、靶背板、磁铁和轭铁，所述靶背板四周围有绝缘垫，所述靶材固定连接靶背板，所述磁铁固定于轭铁上，且所述轭铁连接绝缘件。

10.如权利要求9所述的真空镀膜生产线用阴极装置，其特征在于：所述靶背板与磁铁相对面开有一凹槽，所述磁铁位于所述凹槽内但不接触所述靶背板。