[发明专利]制备CIGS吸收层的电镀生产线

摘要

本发明属于制作太阳能薄膜电池设备技术领域，尤其涉及一种制备CIGS吸收层的电镀生产线。其包括位于首端供应衬底的送料装置；至少四个电镀槽，各电镀槽均设有子槽，其中间处设有传送装置，其侧面挂设有浸没于电镀液中的阳极，所述衬底贴附于传送装置的侧面且与阳极相对；设置于任一电镀槽的前后处的多个清洗槽；位于末端的收料装置；设置于任一电镀槽和清洗槽的入口处和出口处的传动装置；以及分别与所述送料装置、清洗槽、电镀槽和收料装置电性连接并控制其同步动作的控制系统。本发明的电镀生产线缩短了生产线的长度，空间占用小，只对衬底单面沉积，工艺步骤少，且阳极与所述衬底相对设置，保证了沉积CIGS吸收层的表面均匀度。

主权项

一种制备CIGS吸收层的电镀生产线，用于在衬底上沉积铜铟镓硒元素形成CIGS吸收层，其特征在于，包括送料装置，用于连续供应所述衬底，位于所述电镀生产线的首端；至少四个电镀槽，各电镀槽分别盛装有镀铜液、镀镓液、镀铟液和镀硒液，用于将铜、镓、铟、硒元素分别沉积于所述衬底表面；各所述电镀槽均包括有可盛装电镀液的子槽，所述子槽的中间处设有携带所述衬底同步移动且传动路径呈由多线段首尾相接而成的封闭状的传送装置，所述子槽的侧面挂设有浸没于所述电镀液中且呈板状设置、用于沉积CIGS吸收层的阳极，所述阳极分别与所述传送装置上沉浸于电镀液中对称设置的侧面平行相对设置，所述衬底贴附于所述传送装置上沉浸于电镀液内的侧面且与所述阳极平行相对设置；清洗槽，用于清洗所述衬底表面；沿输送所述衬底的方向，设置于任一所述电镀槽的前后处；收料装置，用于收集表面形成CIGS吸收层的衬底，位于所述电镀生产线的末端；传动装置，用于夹持所述衬底并带动所述衬底一同移动，设置于任一所述电镀槽和所述清洗槽的入口处和出口处；以及控制系统，分别与所述送料装置、所述清洗槽、所述电镀槽和所述收料装置电性连接，并控制所述送料装置、所述清洗槽、所述电镀槽和所述收料装置同步动作；所述传送装置包括一固定架、安装于所述固定架上部并抵顶所述衬底的至少一组主辊轮和安装于所述固定架下部并与所述主辊轮配合转动的至少一组从辊轮，以及贴设于所述主辊轮和所述从辊轮的外周面上并携带所述衬底一同运动的传输带；所述传输带上还设有可吸附所述衬底使其与所述传输带贴合的吸附部。