[发明专利]制备CIGS吸收层的电镀生产线

权利要求书

1.一种制备CIGS吸收层的电镀生产线，用于在衬底上沉积铜铟镓硒元素形成CIGS吸收层，其特征在于，包括

送料装置，用于连续供应所述衬底，位于所述电镀生产线的首端；

至少四个电镀槽，各电镀槽分别盛装有镀铜液、镀镓液、镀铟液和镀硒

液，用于将铜、镓、铟、硒元素分别沉积于所述衬底表面；各所述电镀

槽均包括有可盛装电镀液的子槽，所述子槽的中间处设有携带所述衬底

同步移动且传动路径呈由多线段首尾相接而成的封闭状的传送装置，所

述子槽的侧面挂设有浸没于所述电镀液中且呈板状设置、用于沉积CIGS

吸收层的阳极，所述阳极分别与所述传送装置上沉浸于电镀液中对称设

置的侧面平行相对设置，所述衬底贴附于所述传送装置上沉浸于电镀液

内的侧面且与所述阳极平行相对设置；

清洗槽，用于清洗所述衬底表面；沿输送所述衬底的方向，设置于任一

所述电镀槽的前后处；

收料装置，用于收集表面形成CIGS吸收层的衬底，位于所述电镀生产线

的末端；

传动装置，用于夹持所述衬底并带动所述衬底一同移动，设置于任一所

述电镀槽和所述清洗槽的入口处和出口处；

以及

控制系统，分别与所述送料装置、所述清洗槽、所述电镀槽和所述收料

装置电性连接，并控制所述送料装置、所述清洗槽、所述电镀槽和所述

收料装置同步动作。

2.根据权利要求1所述的制备CIGS吸收层的电镀生产线，其特征在于：所述传送装置包括一固定架、安装于所述固定架上部并抵顶所述衬底的至少一组主辊轮和安装于所述固定架下部并与所述主辊轮配合转动的至少一组从辊轮，以及贴设于所述主辊轮和所述从辊轮的外周面上并携带所述衬底一同运动的传输带，所述固定架截面呈矩形状，所述传送带呈矩形设置并贴设于所述主辊轮和所述从辊轮的外周面上并携带所述衬底一同运动。

3.根据权利要求2所述的制备CIGS吸收层的电镀生产线，其特征在于：所述主辊轮和所述从辊轮的外周面与所述固定架的外侧壁相切。

4.根据权利要求3所述的制备CIGS吸收层的电镀生产线，其特征在于：所述主辊轮和所述从辊轮的外周面凸出于所述固定架的外侧壁。

5.根据权利要求1‐4中任一项所述的制备CIGS吸收层的电镀生产线，其特征在于：所述传送装置上还设有用于调节所述传输带张紧度的调整装置，所述调整装置与所述主辊轮和所述从辊轮可调节连接。

6.根据权利要求1所述的制备CIGS吸收层的电镀生产线，其特征在于：所述传输带上还设有可吸附所述衬底使其与所述传输带贴合的吸附部。

7.根据权利要求1‐4、6中任一项所述的制备CIGS吸收层的电镀生产线，其特征在于：所述子槽内设置有至少一根用于搅拌电镀液的镀液喷管，各所述镀液喷管上设置有均匀分布的喷孔。

8.根据权利要求7所述的制备CIGS吸收层的电镀生产线，其特征在于：所述喷孔为锥形孔，所述喷孔的内壁沿所述镀液喷管的管内向管外方向逐渐扩大。

9.根据权利要求8所述的制备CIGS吸收层的电镀生产线，其特征在于：同一镀液喷管上设置的喷孔间的距离与所述喷孔的直径比在20:1至5:1之间。

10.根据权利要求9所述的制备CIGS吸收层的电镀生产线，其特征在于：同一所述镀液喷管上设置有两排喷孔，所述两排喷孔的喷射方向呈夹角设置。

11.根据权利要求10所述的制备CIGS吸收层的电镀生产线，其特征在于：所述喷孔的喷射方向朝向所述电镀子槽的底壁。

12.根据权利要求8‐11中任一项所述的制备CIGS吸收层的电镀生产线，其特征在于：所述镀液喷管至所述子槽底部的距离与所述电镀子槽的电镀液的深度比在1：7至1:20之间。

13.根据权利要求1‐4、6、8‐11中任一项所述的制备CIGS吸收层的电镀生产线，其特征在于：所述电镀子槽内设置有用于平缓电镀液流速的均流网，所述均流网位于所述传送装置和所述镀液喷管之间。