[发明专利]一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置

摘要

发明公开了一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置。用于制作原子层沉积膜的喷头，包括进气管路、进气口和出气口；所述进气口内部为空腔；所述出气口内部形成空腔，分为上半部分和下半部分，其上半部分与下半部分之间设有漏斗形结构；进气管路与进气口固定连接，进气口与出气口可拆卸密闭连接。用于制作原子层沉积膜的装置，包括所述喷头、腔体支撑架、基片承载台和运动平台，腔体支撑架中间形成长条状镂空，可顺序设置多个可拆卸喷头，基片承载台设置在墙体支撑架下方，运动平台带动基片承载台。本发明能适应不同的原子层沉积反应，通过气体隔离原子层沉积法，高效快速的制作原子层沉积膜。

主权项

一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头，其特征在于，包括进气管路、进气口和出气口；所述进气口内部为空腔，其横截面为上窄下宽的梯形；所述出气口内部形成空腔，分为上半部分和下半部分，其上半部分与下半部分之间设有漏斗形结构，用于过度气流；所述可拆卸喷头外壁设有凸台；进气管路与进气口固定连接，进气口与出气口可拆分的密闭连接；气体通过进气管路进入进气口，在进气口内部的空腔缓冲进入出气口，从出气口喷洒在基片上。