[发明专利]一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置

权利要求书

1.一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头，其特征在于，包括进气管路、进气口和出气口；所述进气口内部为空腔，其横截面为上窄下宽的梯形；所述出气口内部形成空腔，分为上半部分和下半部分，其上半部分与下半部分之间设有漏斗形结构，用于过度气流；所述可拆卸喷头外壁设有凸台；进气管路与进气口固定连接，进气口与出气口可拆分的密闭连接；气体通过进气管路进入进气口，在进气口内部的空腔缓冲进入出气口，从出气口喷洒在基片上。

2.如权利要求1所述的喷头，其特征在于，进气口与出气口之间有橡胶圈。

3.一种用于制作原子层沉积膜的装置，其特征在于，包括如权利要求1或2所述的喷头、腔体支撑架、基片承载台和运动平台；所述腔体支撑架，中间形成长条装镂空，镂空内部顺序设置多个可拆卸喷头；所述基片承载台，用于承载基片，设置在装配有喷头的腔体支撑架下方；所述运动平台，用于提供水平往复运动和垂直移动，与基片承载台连接，带动基片承载台运动。

4.如权利要求3所述的用于制作原子层沉积膜的装置，其特征在于，所述腔体支撑架侧面设有隔离气体进气口，用于充入隔离气体维持原子层沉积反应环境。

5.如权利要求4所述的用于制作原子层沉积膜的装置，其特征在于，所述隔离气体进气口设置在腔体支架两端的侧面。

6.如权利要求3所述的用于制作原子层沉积膜的装置，其特征在于，所述可拆卸喷头可采用压片、螺钉、卡扣、基孔间隙配合方式固定在腔体支撑架上。

7.如权利要求3所述的用于制作原子层沉积膜的装置，其特征在于，所述基片承载台下方设置有温度控制装置，用于控制原子层沉积反应温度。

8.如权利要求7所述的用于制作原子层沉积膜的装置，其特征在于，所述温度控制装置分温度段控制。

9.如权利要求3所述的用于制作原子层沉积膜的装置，其特征在于，所述运动平台在垂直方向上的移动精度达到100um级别。