[发明专利]第13族氮化物晶体、所述晶体衬底及所述晶体制备方法有效
| 申请号： | 201310631284.X | 申请日： | 2013-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN103668460A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 林昌弘;佐藤隆;木村千春;三好直哉;村上明繁;三宅信辅;和田纯一;皿山正二 | 申请（专利权）人： | 株式会社理光 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B29/40;C30B25/02;H01L33/00;H01S5/323 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张祥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有六方晶体结构的第13族氮化物晶体，其包含至少一个氮原子和至少一个从B、Al、Ga、In和Tl组成的组中选择的金属原子。平行于c-轴的横截面中底面位错的位错密度为104cm-2或更大。 | ||
| 搜索关键词： | 13 氮化物 晶体 衬底 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种第13族氮化物晶体，其具有六方晶体结构，并包含至少一个氮原子和至少一个从B、Al、Ga、In和Tl组成的组中选择的金属原子，其中平行于c‑轴的横截面中的底面位错的位错密度为104cm‑2或更大。
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