[发明专利]三氯氢硅废渣的处理系统

摘要

本发明一种三氯氢硅废渣的处理系统，包括真空耙式干燥机、冷凝器、真空泵、收集罐、酸循环泵、酸吸收罐和合成液储罐。本发明能充分回收废渣中的有用材料，提高经济效益，减少环境污染。真空耙式干燥机系卧式间歇传导干燥设备，本机借助于中心轴上的耙叶，定时间隔正反向转动，在耙叶的不断搅拌下，物料与筒壁接触时，表面不断更新，且受到导热油间接加热，使物料内湿份不断汽化，同时被真空泵及时抽出。在真空度的作用下，湿份沸点降低，物料表面湿份蒸汽压远大于机内蒸发空间的湿份蒸汽压有利于其内部湿份蒸发，促进了干燥，从而达到干燥的目的。

主权项

一种三氯氢硅废渣的处理系统，其特征在于：包括真空耙式干燥机、冷凝器、真空泵、收集罐、酸循环泵、吸收罐和合成液储罐，所述真空耙式干燥机的抽真空气相出口依次连接5℃水冷凝器、第一‑35℃水冷凝器，所述5℃水冷凝器和第一‑35℃水冷凝器的冷凝液出口均连接收集罐，所述收集罐的气相出口经真空泵连接第二‑35℃水冷凝器，所述收集罐的液相出口和第二‑35℃水冷凝器的冷凝液出口连接合成液储罐，所述真空耙式干燥机的蒸发气相出口连接酸吸收罐，酸吸收罐液相出口再通过酸循环泵分别连接酸吸收罐液相入口和淋洗塔。