[发明专利]三氯氢硅废渣的处理系统在审
| 申请号： | 201310624282.8 | 申请日： | 2013-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN104646388A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 卢红旗 | 申请（专利权）人： | 卢红旗 |
| 主分类号： | B09B3/00 | 分类号： | B09B3/00;B09B5/00;C01B33/107 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 454550*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 废渣 处理 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种三氯氢硅废渣的处理系统，其特征在于：包括真空耙式干燥机、冷凝器、真空泵、收集罐、酸循环泵、吸收罐和合成液储罐，所述真空耙式干燥机的抽真空气相出口依次连接5℃水冷凝器、第一-35℃水冷凝器，所述5℃水冷凝器和第一-35℃水冷凝器的冷凝液出口均连接收集罐，所述收集罐的气相出口经真空泵连接第二-35℃水冷凝器，所述收集罐的液相出口和第二-35℃水冷凝器的冷凝液出口连接合成液储罐，所述真空耙式干燥机的蒸发气相出口连接酸吸收罐，酸吸收罐液相出口再通过酸循环泵分别连接酸吸收罐液相入口和淋洗塔。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅废渣的处理系统，其特征在于：所述各装置之间的管线上均设有阀门。
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