[发明专利]一种电子枪真空放电检测装置有效
| 申请号： | 201310598638.5 | 申请日： | 2013-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN103616621B | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 马玉田;刘俊标;韩立 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01R31/12 | 分类号： | G01R31/12;G01J3/30 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种电子枪真空放电检测装置，包括导光系统（5）、CCD成像设备、光电传感模块、信号处理模块和显示模块。所述的导光系统（5）通过极紫外光纤分别与CCD成像设备和光电传感模块连接；所述的光电传感模块与信号处理模块连接；所述的CCD成像设备和信号处理模块分别与显示模块连接。所述的导光系统（5）布置在电子枪所处的真空室壁或真空室前端的高压瓷瓶壁上作为探头。本发明利用电子枪真空放电过程中产生的极紫外光分析电子枪的真空放电强度；CCD成像设备对电子枪真空放电进行曝光成像，对放电部位定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子枪 真空 放电 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种电子枪真空放电检测装置，所述的检测装置包括导光系统(5)、CCD成像设备、光电传感模块、信号处理模块和显示模块；所述的导光系统(5)通过极紫外光纤分别与CCD成像设备和光电传感模块连接；所述的光电传感模块与信号处理模块连接；所述的CCD成像设备和信号处理模块分别与显示模块连接，其特征在于：所述的导光系统(5)为一端球形封闭的石英管，石英管的封闭端为半球形，该封闭端插入电子枪所在的真空室内作为探头，能够接收180°的入射光；石英管内装有滤波片和光耦合系统；石英管的另一端连接极紫外光纤；所述的滤波片位于光耦合系统的前端；所述的导光系统(5)同时布置在电子枪所处的真空室壁和真空室前端的高压瓷瓶壁上。
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