[发明专利]一种电子枪真空放电检测装置

权利要求书

1.一种电子枪真空放电检测装置，其特征在于所述的检测装置包括导光系统（5）、CCD成像设备、光电传感模块、信号处理模块和显示模块；所述的导光系统（5）通过极紫外光纤分别与CCD成像设备和光电传感模块连接；所述的光电传感模块与信号处理模块连接；所述的CCD成像设备和信号处理模块分别与显示模块连接。

2.根据权利要求1所述的电子枪真空放电检测装置，其特征在于：所述的导光系统（5）为一端球形封闭的石英管，石英管的封闭端为半球形，该封闭端插入电子枪所在的真空室内作为探头，能够接收180°的入射光；石英管内装有滤波片和光耦合系统；石英管的另一端连接极紫外光纤；所述的滤波片位于光耦合系统的前端；所述的导光系统（5）布置在电子枪所处的真空室壁或真空室前端的高压瓷瓶壁上。

3.根据权利要求2所述的电子枪真空放电检测装置，其特征在于：在所述的真空室壁或高压瓷瓶壁上各选取一个关于圆柱形真空室和高压瓷瓶的中心轴对称的位置，在所选取的位置分别对向布置一对共两套导光系统（5），两套导光系统（5）位于同一平面，两套导光系统（5）之间的夹角为180度。

4.根据权利要求2所述的电子枪真空放电检测装置，其特征在于：在所述的真空室壁或高压瓷瓶壁上各选取两个关于圆柱形真空室和高压瓷瓶的中心轴对称的位置，在所选取的位置分别对称布置两对共四套导光系统；四套导光系统对向布置于圆柱形同一横截面上，相邻两套导光系统之间的夹角为90度。

5.根据权利要求3或4所述的电子枪真空放电检测装置，其特征在于：位于同一横截面的所述导光系统所在位置的连线通过真空室或高压瓷瓶的轴心。

6.根据权利要求1所述的电子枪真空放电检测装置，其特征在于：所述的检测装置中，光电传感模块的通道型光电倍增管、CCD成像设备、信号处理模块和显示模块的响应时间为纳秒量级。

7.根据权利要求1所述的电子枪真空放电检测装置，其特征在于：所述的检测装置中，光电传感模块的通道型光电倍增管、CCD成像设备、信号处理模块和显示模块的响应时间优选为20-1000ns。

8.根据权利要求1所述的电子枪真空放电检测装置，其特征在于：当电子枪真空放电时，导光系统（5）借助滤波片和光耦合系统分别对放电产生的极紫外光信号进行滤波和信号放大，将放大的极紫外线信号分别经极紫外光纤传导到光电传感模块和CCD成像系统；光电传感模块将极紫外线光信号转化为电信号传导到显示模块，显示模块显示反应极紫外线光谱信息，采用光谱分析方法分析电子枪的真空放电强度；CCD成像设备接受到极紫外线，对电子枪真空放电进行曝光成像，并将图像传导至显示模块显示图像信息；根据显示模块显示的真空放电强度及成像的信息，并根据CCD成像系统对电子枪真空放电的成像图片，对放电位置进行定位；根据真空放电产生的紫外线光谱的强度判断电子枪真空放电的强弱，并根据图像信息和放电产生的辉光结合电子枪真空放电位置、强弱以及曝光所成像的信息进行放电原因分析。