[发明专利]一种压缩冷冻法回收LED混合废气中氨气的实验装置及其验证方法

摘要

本发明公开了一种压缩冷冻法回收LED混合废气中氨气的实验装置及其验证方法，主要用于验证在半导体发光二极管（简称LED）在氨气和三甲基镓气相沉积成GaN，生产过程中排出氨气、氮气、氢气混合气体，用压缩冷冻法工艺回收混合气体中少量的氨气，在工艺设计过程中验证化工艺软件测算的正确性，防止设计与实际实施过程中可能会产生的偏差，提高设计精度，减少投资损失的方法。

主权项

一种压缩冷冻法回收LED混合废气中氨气的实验装置，它包括：混合标准气瓶、减压调压阀组、压力表、低温冷冻液容器、低温冷冻液、镙旋式冷冻管组、气液分离器、温度计、气体流量计、调压阀门、气相色谱仪、废气中和桶，其特征是所述的混合标准气瓶与减压调压阀组Ⅰ连接，减压调压阀组Ⅰ与镙旋式冷冻管组连接，镙旋式冷冻管组与气液分离器连接，气液分离器与减压调压阀组Ⅱ连接，减压调压阀组Ⅱ出口设有两条管路，其中一条管路与气相色谱仪进样口相连接，气相色谱仪与减压调压阀组Ⅱ之间设有调压阀门Ⅱ，气相色谱仪通过气相色谱仪放空管道与废气中和桶连接，另一条管路与气体流量计连接，气体流量计与减压调压阀组Ⅱ之间设有调压阀门Ⅰ，气体流量计通过放空管道与废气中和桶连接，所述的低温冷冻液容器能够承受零下100℃低温保温容器并盛有低温冷冻液，所述的镙旋式冷冻管组与气液分离器安放于低温冷冻液容器中，低温冷冻液容器中还安装有温度计。