[发明专利]具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备

摘要

本发明涉及一种具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备。该设备设置有至少一个制备含有掺杂物质涂层的装置，通过该涂层制备装置可以在被扩散物表面PN结区域和SE区域分别制备出密度或浓度或组分不同的含有掺杂物质的涂层，表面附着了上述涂层的被扩散物，始终保持其扩散面朝上，在水平辊道的传输下水平移动，依次连续通过高温处理装置，不间断、一次性完成PN结和SE的掺杂。该设备由上片区、含有掺杂物质的涂层区、预热烘干区、高温扩散区、冷却区和出片区六个基本单元组成。该设备不仅有效解决了PN结和选择发射区掺杂一次完成、连续化生产的问题，而且解决了连续化扩散设备炉内环境气氛的洁净度问题。

主权项

一种具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备，其特征在于：在所述扩散设备中，设置有至少一个制备含有掺杂物质涂层的装置，通过该涂层制备装置可以在被扩散物表面PN结区域和SE区域分别制备出密度或浓度或组分不同的含有掺杂物质的涂层，表面附着了上述涂层的被扩散物，始终保持其扩散面朝上，在水平辊道的传输下水平移动，依次连续通过高温处理装置，不间断、一次性完成PN结和SE的掺杂。