[发明专利]具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备

权利要求书

1.一种具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备，其特征在于：在所述扩散设备中，设置有至少一个制备含有掺杂物质涂层的装置，通过该涂层制备装置可以在被扩散物表面PN结区域和SE区域分别制备出密度或浓度或组分不同的含有掺杂物质的涂层，表面附着了上述涂层的被扩散物，始终保持其扩散面朝上，在水平辊道的传输下水平移动，依次连续通过高温处理装置，不间断、一次性完成PN结和SE的掺杂。

2.根据权利要求1所述的具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备，其特征在于：该设备由上片区、含有掺杂物质的涂层区、预热烘干区、高温扩散区、冷却区和出片区六个基本单元组成。

3.根据权利要求2所述的具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备，其特征在于：所述涂层的制备装置，为丝网印刷装置或雾化喷涂装置或激光喷涂装置或旋涂装置；所述含有掺杂物质的涂层区为一个或两个，其中，涂层区为一个时，通过丝网印刷装置或激光喷涂装置中的任意一种涂层制备装置在被扩散物表面PN结区域和SE区域一次分别制备出密度或浓度不同的含有掺杂物质的涂层；涂层区为两个时，前一涂层区采用丝网印刷装置或激光喷涂装置制备含有掺杂物质的SE图形，然后在后一涂层区通过丝网印刷装置、雾化喷涂装置、激光喷涂装置或旋涂装置中的任意一种涂层制备装置制备PN结涂层，二步操作在被扩散物表面PN结区域和SE区域分别制备出密度或浓度或组分不同的含有掺杂物质的涂层。

4.根据权利要求3所述的具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备，其特征在于：在所述丝网印刷装置中，用来进行丝网印刷的网版针对SE区域和PN结区域有不同的印刷特性，即SE区域印刷的涂层密度或浓度高于PN结区域印刷的涂层密度或浓度，实现一次印刷分别在SE区域和PN结区域形成不同密度或浓度的涂层。

5.根据权利要求4所述的具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备，其特征在于：所述丝网印刷装置中的丝网印刷网版，SE区域由互相贯通的镂空图案组成，PN结区域由若干不连通的图案组成，该不连通的图案包括圆形、线性、方形、三角形、菱形或其他任何不连通的图形。

6.根据权利要求4所述的具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备，其特征在于：所述丝网印刷装置中的丝网印刷网版，SE区域刻蚀程度比PN结区域刻蚀程度高。

7.根据权利要求3所述的具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备，其特征在于：雾化喷涂装置或激光喷涂装置设置在水平辊道的上方，被扩散物在水平辊道的传输下水平移动过程中，依次经过雾化喷涂装置或激光喷涂装置的下方时，完成所述涂层的喷涂作业。

8.根据权利要求1所述的具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备，其特征在于：传输被扩散物的辊道由若干条水平排列、沿轴线方向往复转动的辊轴组成，传输被扩散物的辊道至少一部分是由空心辊轴组成，在空心辊轴上被扩散物经过的部位沿径向方向设置有若干通气孔，在空心辊轴的至少一端通过旋转接头与进气管连接，从进气管通入洁净的氮气、压缩空气或其他必要的气体，该气体通过空心辊轴上的通气孔进入到被扩散物经过的炉膛部位。

9.根据权利要求8所述的具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备，其特征在于：在空心辊轴上被扩散物经过的设置有若干通气孔的部位，设置有至少一个中间凹、两边凸的台阶，被扩散物在两边凸起台阶的支撑和摩擦力作用下水平移动，被扩散物与通气孔之间离开一定距离，气体无障碍地从被扩散物下面进入炉膛。

10.根据权利要求8所述的具有SE功能的水平辊道式连续扩散设备，其特征在于：在空心辊轴上沿径向方向设置的若干通气孔，其孔径相同或不同，其间距为均匀间距或不均匀间距。