[发明专利]楔形流道电解加工海量阵列微小凹坑的方法及装置有效
| 申请号： | 201310575377.5 | 申请日： | 2013-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN103600144A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 陈晓磊;李寒松;曲宁松 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | B23H3/00 | 分类号： | B23H3/00;B23H3/04;B23H11/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种楔形流道电解加工海量阵列微小凹坑的方法及装置，属电解加工技术领域。首先对掩模板的表面进行处理，使其与工件阳极的表面贴合；将楔形工具阴极固定在掩模板上方，与掩模板之间形成楔形流道；将工件阳极和楔形工具阴极分别与电源正负极相连；在楔形流道内通入电解液，电解液通过掩模板上的贯穿群孔到达工件阳极表面；接通电源进行电解加工。将流道设置为楔形，使电场强度和电解液流速沿流道方向递增，使工件沿流道方向腐蚀强度和速度都趋于一致，提高电解加工均匀性和加工精度。将PDMS模板作为掩模板能保证掩模板与工件阳极结合强度，有效减弱电解液对加工区域周围的杂散腐蚀，提高电解加工的定域性和均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 楔形 电解 加工 海量 阵列 微小 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种楔形流道电解加工海量阵列微小凹坑的方法，其特征在于包括以下步骤：1)对具有贯穿群孔且群孔结构一致的掩模板(3)表面进行处理；2)将掩模板(3)与工件(4)阳极表面紧密贴合；3)将楔形工具(1)阴极固定在掩模板(3)上方，与掩模板(3)之间形成楔形流道(2)；4)将工件(4)阳极和楔形工具(1)阴极分别与电源(6)正负极相连；5)在楔形流道(2)内通入电解液(5)，电解液(5)通过掩模板(3)上的贯穿群孔到达工件(4)阳极表面；6)接通电源(6)进行电解加工。
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