[发明专利]用于绝缘膜的清洗液以及清洗绝缘膜的方法有效

专利信息
申请号: 201310567460.8 申请日: 2013-11-14
公开(公告)号: CN104109589B 公开(公告)日: 2018-09-28
发明(设计)人: 裵镇希;李汉松;任浣熙;金古恩;郭泽秀;金补宣;金相均;罗隆熙;朴银秀;徐珍雨;宋炫知;赵娟振;韩权愚;黄丙奎 申请(专利权)人: 第一毛织株式会社
主分类号: C11D7/26 分类号: C11D7/26;C11D7/24;C11D7/50;H01L21/02
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 余刚;张英
地址: 韩国庆*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明提供了用于绝缘膜的清洗液以及清洗绝缘膜的方法。公开了包含由以下化学式1表示的溶剂的用于绝缘层的清洗液、以及利用所述清洗液清洗绝缘层的方法。在化学式1中,R1和Ra至Re与在详细描述中所定义的相同。[化学式1]
搜索关键词: 用于 绝缘 清洗 以及 方法
【主权项】:
1.一种用于绝缘层的清洗液,包含溶剂,所述溶剂包括苯甲酸甲酯、苯甲酸乙酯、苯甲酸丙酯、苯甲酸异丙酯、苯甲酸丁酯、苯甲酸苄酯、或它们的组合,其中,所述清洗液具有小于或等于150ppm的含湿量,所述清洗液进一步包含辅助溶剂,所述辅助溶剂包括在正常压力下具有190℃至220℃的沸点的链烷烃。
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