[发明专利]用于绝缘膜的清洗液以及清洗绝缘膜的方法有效
申请号: | 201310567460.8 | 申请日: | 2013-11-14 |
公开(公告)号: | CN104109589B | 公开(公告)日: | 2018-09-28 |
发明(设计)人: | 裵镇希;李汉松;任浣熙;金古恩;郭泽秀;金补宣;金相均;罗隆熙;朴银秀;徐珍雨;宋炫知;赵娟振;韩权愚;黄丙奎 | 申请(专利权)人: | 第一毛织株式会社 |
主分类号: | C11D7/26 | 分类号: | C11D7/26;C11D7/24;C11D7/50;H01L21/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;张英 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: |
本发明提供了用于绝缘膜的清洗液以及清洗绝缘膜的方法。公开了包含由以下化学式1表示的溶剂的用于绝缘层的清洗液、以及利用所述清洗液清洗绝缘层的方法。在化学式1中,R1和Ra至Re与在详细描述中所定义的相同。[化学式1] |
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搜索关键词: | 用于 绝缘 清洗 以及 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于绝缘层的清洗液,包含溶剂,所述溶剂包括苯甲酸甲酯、苯甲酸乙酯、苯甲酸丙酯、苯甲酸异丙酯、苯甲酸丁酯、苯甲酸苄酯、或它们的组合,其中,所述清洗液具有小于或等于150ppm的含湿量,所述清洗液进一步包含辅助溶剂,所述辅助溶剂包括在正常压力下具有190℃至220℃的沸点的链烷烃。
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