[发明专利]紧凑型光刻投影物镜

摘要

种紧凑型光刻投影物镜，构成包括沿其光轴方向从物面一侧依次包括第一透镜至第五透镜、孔径光阑、第六透镜至第十透镜，本发明采用对称式结构，可以有效地校正垂轴像差，同时采用正负光焦度平衡匹配有效地校正轴向像差，满足瑞利判据的要求；可用于偏振照明系统的偏振态测量实验、光瞳滤波实验或照明方式优化实验等等。采用尽量少的透镜实现大的数值孔径，结构紧凑，重量轻、体积小，有利于各种实验的开展。

主权项

一种紧凑型光刻投影物镜，沿其光轴方向从物面一侧依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜至第五透镜、孔径光阑、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜，其特征在于，所述的第一透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜和第十透镜具有正光焦度，所述的第二透镜和第九透镜具有负光焦度，所述的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜为凹面朝向物面的弯月透镜，所述的第五透镜和第六透镜为双凸透镜，所述的第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜为凹面朝向像面的弯月透镜。