[发明专利]紧凑型光刻投影物镜

权利要求书

1.一种紧凑型光刻投影物镜，沿其光轴方向从物面一侧依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜至第五透镜、孔径光阑、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜，其特征在于，所述的第一透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜和第十透镜具有正光焦度，所述的第二透镜和第九透镜具有负光焦度，所述的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜为凹面朝向物面的弯月透镜，所述的第五透镜和第六透镜为双凸透镜，所述的第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜为凹面朝向像面的弯月透镜。

2.如权利要求1所述的紧凑型光刻投影物镜，其特征在于，所述的第一透镜的前表面和第十透镜的后表面为非球面，第一透镜的后表面和第十透镜的前表面为球面，其它透镜的表面均为球面。

3.如权利要求1所述的紧凑型光刻投影物镜，其特征在于，所有十块透镜均采用高透过率的熔石英材料制成。