[发明专利]一种制备新型导电氧化铟锡锌薄膜的方法

摘要

本发明的目的是提供一种制备新型导电氧化铟锡锌薄膜的方法，在制备新型氧化铟锡锌靶材的过程中，添加高含量的氧化锌元素的形成氧化铟锡锌材料，溅镀薄膜时搭配中间层的银或银合金薄膜，形成三明治的多层薄膜结构设计，大幅降低薄膜的电阻，在适当的厚度控制下提高薄膜在可见光的透光度，提高了氧化铟锡锌薄膜在触控屏及CIGS等薄膜光电池中的应用性，满足了生产的要求。由于适合低温度(<150℃)镀膜，所以可以应用于玻璃基材或者可挠性PET基材，扩大了应用范围。电阻值可降低至5×10-5Ωcm以下，透光性可高达95％以上。

主权项

一种制备新型导电氧化铟锡锌薄膜的方法，其特征为：将基板、纯银或银合金靶材及氧化铟锡锌靶材放入真空溅镀机中、真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10‑5‑0.9×10‑5 torr后，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为2×10‑3torr，基板不加热，接着先以DC电源溅镀第一层10‑50nm厚的氧化铟锡锌薄膜，然后以DC电源溅镀第二层5‑15nm厚的纯银或银合金薄膜，最后以DC电源溅镀第三层10‑50nm厚的氧化铟锡锌薄膜，即形成所需的基板/ITZO/银或银合金/ITZO多层膜结构，即得。