[发明专利]制造显示器的方法及用于该方法的沉积装置

摘要

本发明提供一种当同时制造多个显示器时可以降低沉积的不均匀性的制造显示器的方法，以及一种可在该方法中使用的沉积装置。其中，该方法包括：制备具有矩阵图案的多个区域的母衬底，所述母衬底被用于形成对应于所述多个区域的多个显示器单元；将母衬底插入沉积室，其中，沉积源在沉积室中；通过使用包括了沿第一方向延伸的多个平行条纹形状的掩模板的掩模来在母衬底上沉积材料；沿着所述多个显示器单元的每个的边缘切割母衬底，从而得到多个显示器。

主权项

1.一种制造多个显示器的方法，该方法包括：制备具有以矩阵图案布置的多个区域的母衬底，所述矩阵图案具有多行的所述多个区域，所述多行中的每行在第一方向上延伸，所述母衬底被用于形成对应于所述多个区域的多个显示器单元；将母衬底插入沉积室，其中，沿第一方向和与第一方向相反的第二方向中的至少一个方向可移动的沉积源位于沉积室中；通过使用包括了沿第一方向延伸的多个平行条纹形状的掩模板的掩模在使沉积源在第一方向或与第一方向相反的第二方向上移动的同时来在母衬底的沉积表面上沉积来自沉积源的材料，在母衬底上沉积材料形成所述多个显示器单元，其中，掩模不具有沿与第一方向交叉的第三方向延伸的掩模板，其中，所述多个平行条纹形状的掩模板中的一个掩模板与所述多个平行条纹形状的掩模板中的相邻的一个掩模板之间的距离基本等于多行中的一行的多个显示器单元中的每个显示器单元的一侧的长度；沿着所述多个显示器单元的每个的边缘切割母衬底，从而得到多个显示器。