[发明专利]一种柔性阵列基板及其制备方法和显示装置

摘要

本发明提供了一种柔性阵列基板及其制备方法和显示装置，该阵列基板的栅极、栅线、绝缘层、有源层、源极、漏极、像素电极、公共电极、数据线均采用石墨烯类材料构成，从而大幅降低了柔性阵列基板发生龟裂的可能，减少了阵列基板制备时所需的设备数量和种类，简化了生产工艺，降低了制造成本，进一步提高了所制备的显示装置的开口率。

主权项

1.一种柔性阵列基板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：形成第一石墨烯层，通过构图工艺形成包括栅极、栅线的第一石墨烯层的图案；形成第二石墨烯层，通过涂覆光刻胶、曝光和显影露出用于形成有源层的第二石墨烯层的有源区，对所述有源区进行氢化处理，形成由氢化石墨烯构成的有源层；通过构图工艺在所述有源层之外形成包括源极、漏极、数据线的第二石墨烯层的图案，所述有源层与所述源极、所述漏极相连接；其中，所述制备方法还包括：形成氧化石墨烯层，所述氧化石墨烯层为设置在第一石墨烯层和第二石墨烯层之间的绝缘层；形成所述第一石墨烯层的图案还包括形成公共电极和公共电极线；形成所述第二石墨烯层的图案还包括形成像素电极，所述像素电极与所述漏极相连接；其中，所述栅极、栅线、绝缘层、有源层、源极、漏极、像素电极、公共电极、数据线均采用石墨烯类材料构成，氧化石墨烯层的层厚为