[发明专利]单面抛光机有效
| 申请号： | 201310534409.7 | 申请日： | 2013-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN103551957A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 张卫国;李启庆 | 申请（专利权）人： | 苏州辰轩光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B37/005 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 215129 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单面抛光机，包括：机壳，设置在所述机壳内的抛盘、研磨压盘、气缸和旋转电机，所述研磨压盘设置在所述抛盘上方，所述气缸和旋转电机分别控制所述研磨压盘上下动作和旋转，并且所述研磨压盘的内部设置有中心气缸。本发明采用中心气缸加压的方式使研磨压盘的底部产生一定量的变形量，从而提高晶片厚度的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 单面 抛光机 | ||
【主权项】：
一种单面抛光机，其特征在于，包括：机壳，设置在所述机壳内的抛盘、研磨压盘、气缸和旋转电机，所述研磨压盘设置在所述抛盘上方，所述气缸和旋转电机分别控制所述研磨压盘上下动作和旋转，并且所述研磨压盘的内部设置有中心气缸。
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