[发明专利]一种标定位移平台线性度的方法及系统在审
| 申请号： | 201310526171.3 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN103529655A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 李显杰;赵飞;陈勇 | 申请（专利权）人： | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/00 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 闫俊芬 |
| 地址： | 300457 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种标定位移平台线性度的方法及系统，在激光成像系统中使用，包括：第1步，第一图像采集设备获取标定尺上第一固定图形位置进行定位，获取所述第一图像采集设备的位置坐标；第2步，第二图像采集设备从相邻所述第一固定图形的第二固定图形起始，沿同一方向依次获取所述标定尺上的固定图形位置进行定位，依次获取所述第二图像采集设备的位置坐标；第3步，计算图像采集设备变化的线性度，根据所述线性度值可以表征所述位移平台的线性度。本发明的有益效果为，本发明结构简单，测量误差较小，实用性较强，通过简单的结构能够实现实时有效的标定测量系统间的变化，通过测量的线性度对位移平台进行补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 标定 位移 平台 线性 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种标定位移平台线性度的方法，在激光成像系统中使用，其特征在于，第1步，第一图像采集设备获取标定尺上第一固定图形位置进行定位，获取所述第一图像采集设备的位置坐标；第2步，第二图像采集设备从相邻所述第一固定图形的第二固定图形起始，沿同一方向依次获取所述标定尺上的固定图形位置进行定位，依次获取所述第二图像采集设备的位置坐标；第3步，设定所述标定尺固定图形的间距为L，设定获取的所述第一图像采集设备的位置坐标为P1，获取的所述第二图像采集设备的位置坐标依次为P2、P3、P4，计算P1与P2的距离为L1，计算P3与P4的距离为L2，通过下述得到线性度值X：![]()
根据所述线性度值可以表征所述位移平台的线性度。
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