[发明专利]一种标定位移平台线性度的方法及系统

说明书

技术领域

本发明属于印刷线路板设备技术领域，尤其是涉及一种标定位移平台线性度的方法及系统。

背景技术

光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征的构图的技术。这样的基底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器（例如液晶显示器）、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的芯片。

激光成像系统是在有衬底的表面上直接显示设计的图像，用紫外光、远紫外光、准直光等经空间光调制器SLM和投影物镜将光投向衬底的表面，触发衬底的表面感光材料的光触反应，曝光结束的衬底经显影剂等处理，显示出设计的图像，成像精度高，最小线宽达10μm。

实际使用中，激光成像设备长期处于工作状态，其图像采集设备CCD1和CCD2的相对位置受到环境（如温度等）、材料的膨胀系数等影响会发生变化。变化的区间在0-40μm，甚至更大，这种微小的变化会对对准要求在十几微米的目标产生巨大的影响，会导致设备工作一段时间后无法精确对准。

发明内容

本发明的目的是提供一种标定位移平台线性度的方法及系统，以解决现有技术中存在的上述缺陷。

为实现本发明的目的，本发明提供了一种标定位移平台线性度的方法，在激光成像系统中使用，

第1步，第一图像采集设备获取标定尺上第一固定图形位置进行定位，获取所述第一图像采集设备的位置坐标；

第2步，第二图像采集设备从相邻所述第一固定图形的第二固定图形起始，沿同一方向依次获取所述标定尺上的固定图形位置进行定位，依次获取所述第二图像采集设备的位置坐标；

第3步，设定所述标定尺固定图形的间距为L，设定获取的所述第一图像采集设备的位置坐标为P1，获取的所述第二图像采集设备的位置坐标依次为P2、P3、P4，计算P1与P2的距离为L1，计算P3与P4的距离为L2，通过下述得到线性度值X：根据所述线性度值可以表征所述位移平台的线性度。

相应地，本发明还提供了一种标定位移平台线性度的系统，应用于激光成像系统中，包括：工作平台、吸盘、标定尺、第一图像采集设备、第二图像采集设备、位移平台、龙门，所述吸盘放置于所述工作平台上，所述标定尺设置有固定图形，且放置于所述吸盘一侧，所述工作平台上设有龙门，所述第一图像采集设备与所述龙门上固定连接，所述第二图像采集设备与所述龙门滑动连接，所述第二图像采集设备与所述位移平台固定连接。

本发明的有益效果为，本发明结构简单，测量误差较小，实用性较强，通过简单的结构能够实现实时有效的标定测量系统间的变化，通过测量的线性度对位移平台进行补偿。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明提供的标定尺结构示意图；

图中，1-吸盘，2-龙门，3-固定图像采集设备，4-标定尺，5-位移平台，6-移动图像采集设备，7-固定图形。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解为此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限制本发明的保护范围。

本发明提供了一种标定位移平台线性度的方法，在激光成像系统中使用，所述激光成像系统，如图1所示，包括：工作平台、吸盘、标定尺、第一图像采集设备、第二图像采集设备、位移平台、龙门，所述吸盘放置于所述工作平台上，所述标定尺设置有固定图形，且放置于所述吸盘一侧，所述工作平台上设有龙门，所述第一图像采集设备与所述龙门上固定连接，所述第二图像采集设备与所述龙门滑动连接，所述第二图像采集设备与所述位移平台固定连接。所述第一图像采集设备为固定图像采集设备3，所述第二图像采集设备为移动图像采集设备6。如图2所示，所述标定尺，材料为热膨胀系数要求不大于10^-5（1/℃），上面设计多个固定图形7，所有固定图形都相同，其间距均相等，通过判断所述固定图形中心点，来进行定位。标定尺的中心点坐标随环境变化极小，通过其来标定位移平台线性度。

所述方法，包括以下步骤：

第1步，第一图像采集设备获取标定尺上第一固定图形位置进行定位，获取所述第一图像采集设备的位置坐标；

第2步，第二图像采集设备从相邻所述第一固定图形的第二固定图形起始，沿同一方向依次获取所述标定尺上的固定图形位置进行定位，依次获取所述第二图像采集设备的位置坐标；