[发明专利]SE太阳能电池及其制作方法

摘要

本发明提供一种SE太阳能电池及其制作方法，所述方法包括以下步骤：S1：提供第一类型半导体衬底并进行酸制绒，形成蜂窝状绒面结构；S2：在所述蜂窝状绒面结构上形成一层掩模，所述掩模覆盖上电极印刷区域；S3：接着将所述第一类型半导体衬底进行碱制绒，在所述掩模未覆盖区域形成金字塔绒面结构；S4：去除所述掩模；S5：然后对所述第一类型半导体衬底进行整面第二类型轻掺杂；S6：再对所述第一类型半导体衬底的上电极印刷区域进行第二类型重掺杂；S7：最后依次进行边缘刻蚀、清洗、沉积减反射膜、形成上下电极及测试，完成SE太阳能电池的制作。本发明采用蜂窝状/金字塔复合绒面结构，能同时降低接触电阻并提高光吸收，电池效率更高。

主权项

一种SE太阳能电池的制作方法，其特征在于，至少包括以下步骤：S1：提供第一类型半导体衬底并进行酸制绒，在所述第一类型半导体衬底表面形成蜂窝状绒面结构；S2：在所述蜂窝状绒面结构上形成一层掩模，所述掩模覆盖上电极印刷区域；S3：接着将所述第一类型半导体衬底进行碱制绒，在所述掩模未覆盖区域形成金字塔绒面结构；S4：去除所述掩模；S5：然后对所述第一类型半导体衬底进行整面第二类型轻掺杂；S6：再对所述第一类型半导体衬底的上电极印刷区域进行第二类型重掺杂；S7：最后依次进行边缘刻蚀、清洗、沉积减反射膜、形成上下电极及测试，完成SE太阳能电池的制作。