[发明专利]声表面波传感器复合敏感膜的制备装置和制备工艺有效
| 申请号： | 201310512180.7 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN103529120A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 胡佳;李臻;李维龙;黄双双;张婧 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;B05D5/00 |
| 代理公司： | 安徽汇朴律师事务所 34116 | 代理人： | 丁瑞瑞 |
| 地址： | 230001 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种声表面波传感器复合敏感膜的制备装置，包括出口对准声表面波器件的表面的至少两个气喷雾沉积装置，不同的气喷雾沉积装置中填装不同材料的溶液，所有气喷雾沉积装置在一个声表面波器件的表面上同时沉积多种材料，获得复合敏感膜。本发明还提供了声表面波传感器复合敏感膜的制备工艺，包括：在声表面波器件的上方设置至少两个出口对准声表面波器件的表面的气喷雾沉积装置；根据需要喷涂的复合敏感膜的参数调节好每一个气喷雾沉积装置的工艺参数；所有气喷雾沉积装置同时对声表面波器件进行沉积，在声表面波器件的表面形成复合敏感膜。本发明的优点在于：本发明的工艺可制备出传统溶液法工艺所不能制备出的复合敏感膜。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 传感器 复合 敏感 制备 装置 工艺 | ||
【主权项】：
一种声表面波传感器复合敏感膜的制备装置，其特征在于：包括出口对准声表面波器件(3)的表面的至少两个气喷雾沉积装置，不同的气喷雾沉积装置中填装不同材料的溶液，所有气喷雾沉积装置在一个声表面波器件(3)的表面上同时沉积多种材料，获得复合敏感膜(4)。
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