[发明专利]矩形平面阴极弧源和阴极靶材烧蚀装置有效
| 申请号： | 201310511738.X | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN103526166A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 马国佳;王明娥;刘星;孙刚;张林 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王天尧 |
| 地址： | 100024 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种矩形平面阴极弧源和阴极靶材烧蚀装置，该矩形平面阴极弧源包括：电磁线圈、中心永磁体组和与中心永磁体组极性相反的外围永磁体组；所述中心永磁体组放置于所述电磁线圈的中心；所述外围永磁体组放置于所述电磁线圈的外围。通过本发明所提供的矩形平面阴极弧源和阴极靶材烧蚀装置可以在提高制备涂层的质量的同时，保证阴极靶材的利用率和沉积速率。 | ||
| 搜索关键词： | 矩形 平面 阴极 靶材烧蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种矩形平面阴极弧源，其特征在于，包括：电磁线圈、中心永磁体组和与中心永磁体组极性相反的外围永磁体组；所述中心永磁体组放置于所述电磁线圈的中心；所述外围永磁体组放置于所述电磁线圈的外围。
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