[发明专利]矩形平面阴极弧源和阴极靶材烧蚀装置

权利要求书

1.一种矩形平面阴极弧源，其特征在于，包括：

电磁线圈、中心永磁体组和与中心永磁体组极性相反的外围永磁体组；

所述中心永磁体组放置于所述电磁线圈的中心；

所述外围永磁体组放置于所述电磁线圈的外围。

2.如权利要求1所述的矩形平面阴极弧源，其特征在于，

所述中心永磁体组和/或所述外围永磁体组由多个磁柱排列而成。

3.如权利要求2所述的矩形平面阴极弧源，其特征在于，所述中心永磁体组由多个磁柱排列而成时，所述中心永磁体组由多个磁柱排成一列。

4.如权利要求2或3所述的矩形平面阴极弧源，其特征在于，所述中心永磁体组由多个磁柱排列而成时，所述中心永磁体组中的各磁柱之间的距离小于阈值。

5.如权利要求2所述的矩形平面阴极弧源，其特征在于，所述外围永磁体组由多个磁柱排列而成时，所述外围永磁体组由多个磁柱排成圆周。

6.如权利要求2或5所述的矩形平面阴极弧源，其特征在于，所述外围永磁体组由多个磁柱排列而成时，所述外围永磁体组中的各磁柱之间的距离小于阈值。

7.如权利要求2所述的矩形平面阴极弧源，其特征在于，还包括：

极靴，极靴的下表面为平面，上表面设置有多个凹槽，所述中心永磁体组和/或所述外围永磁体组中的各磁柱镶嵌在所述极靴的凹槽中。

8.如权利要求1所述的矩形平面阴极弧源，其特征在于，所述电磁线圈的参数是可变的，其中，所述参数包括以下一种或多种：电压、电流、频率。

9.如权利要求1所述的矩形平面阴极弧源，其特征在于，还包括：与所述电磁线圈连接的线圈电流源，所述线圈电流源包括：

线圈电源，用于提供所述矩形平面阴极弧源工作时所述电磁线圈所需的电流；

波形发生器，与所述线圈电源相连，用于对线圈电源输出的电流的波形进行调节；

电源调幅装置，与所述波形发生器和所述电磁线圈相连，用于对所述波形发生器输出的电流进行幅度调节，并将幅度调节后的电流输出至所述电磁线圈。

10.如权利要求1所述的矩形平面阴极弧源，其特征在于，在所述外围永磁体组的外围设置有靶壳。

11.如权利要求10所述的矩形平面阴极弧源，其特征在于，在所述外围永磁体组和所述靶壳之间设置有绝缘材料。

12.一种阴极靶材烧蚀装置，包括：上述权利要求1至11中任一项所述的矩形平面阴极弧源，和位于所述矩形平面阴极弧源上方预定距离内的阴极靶材。

13.如权利要求12所述的阴极靶材烧蚀装置，其特征在于，还包括：冷却降温装置，与所述阴极靶材的下表面贴合，用于对所述阴极靶材进行冷却降温。

14.如权利要求13所述的阴极靶材烧蚀装置，其特征在于，所述冷却降温装置包括：冷水管。