[发明专利]一种多电极电路系统在离子注入机中的应用

摘要

本发明讲述的是一种多电极电路系统在离子注入机中的应用，该电路包括：电源控制单元1、高压产生单元2、高压放大输出单元3。高压产生单元2产生±1500VDC高压，为高压放大输出单元3提供±1500VDC的高压直流工作电压。高压放大器对电源控制单元所产生的低压信号进行放大，输出满足一定线性变化的高压为多电极装置提供电压。其图1多电极电路系统接线框图包括：PSI控制器(1)、多电极电路系统(2)、多电极装置(3)、辅助电路(4)、控制电路模块(5)、高压产生单元(6)、高压放大输出单元(7)。说明书对本硬件电路进行了详细的说明，并给出具体实施方案。

主权项

一种多电极电路系统在离子注入机中的应用，其图1多电极电路系统接线框图包括：PSI控制器(1)、多电极电路系统(2)、多电极装置(3)、辅助电路(4)、控制电路模块(5)、高压产生单元(6)、高压放大输出单元(7)。此系统可以控制从多电极装置之间通过的离子束流均匀性情况。工作流程：首先PSI控制器(1)输出0‑10V直流模拟量，进入多电极电路系统(2)的控制电路模块(5)，经过控制模块处理的信号，分成两路：一路反馈回PSI控制器(1)用于指示当前的输出状态；一路经过高压放大输出单元(7)产生高压送到多电极装置(3)，多电极装置(3)多个电极之间产生相应的所需要可变可调节的电场(图2多电极装置电场线示意图所示)，进而影响通过该装置的离子束的分布情况；从而达到控制离子束均匀性目的。通过调节多个电极之间的电压大小比例可以使离子束均匀性达到改善的效果。