[发明专利]一种氮杂环改性聚硅氧烷缓蚀剂组合物及其制备方法有效
申请号: | 201310506625.0 | 申请日: | 2013-10-24 |
公开(公告)号: | CN104562040A | 公开(公告)日: | 2015-04-29 |
发明(设计)人: | 孙鹏;王鑫;刘纾言 | 申请(专利权)人: | 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司抚顺石油化工研究院 |
主分类号: | C23F11/173 | 分类号: | C23F11/173 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100728 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种氮杂环改性聚硅氧烷缓蚀剂组合物及其制备方法,所述缓蚀剂组合物包括含氢聚二甲基硅氧烷,羟基咔唑,乙烯基咔唑,氯铂酸乙醇溶液,碱性催化剂,溶剂A和溶剂B。所述含硅大分子缓蚀剂组合物制备方法,向含氢聚二甲基硅氧烷中加入羟基咔唑和溶剂A,然后在75~90℃下加入碱性催化剂,反应后经过滤和减压蒸馏得到一次产物W;向W中加入溶剂B和含乙烯基咔唑,升温至90~140℃后滴加氯铂酸催化剂溶液,反应后得到的混合物经过滤并除去溶剂后即为缓蚀剂组合物。本发明产品具有更高的适用温度和更强的吸附成膜稳定度,所成膜的憎水性和绝缘性更好,防护作用更佳,用量低、持续抗腐蚀性好。 | ||
搜索关键词: | 一种 氮杂环 改性 聚硅氧烷缓蚀剂 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种氮杂环改性聚硅氧烷缓蚀剂组合物,其特征在于:所述缓蚀剂组合物包括:15~35质量份含氢聚二甲基硅氧烷,0.1~2.5质量份羟基咔唑,0.1~2.0质量份乙烯基咔唑,0.01~0.1质量份氯铂酸异丙醇溶液,0.15~0.5质量份碱性催化剂,100~500质量份溶剂A和150~600质量份溶剂B。
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