[发明专利]一种含硅缓蚀剂组合物及其制备方法

摘要

本发明提供了一种含硅缓蚀剂组合物及其制备方法，包括如下组分甲基苯基含氢聚硅氧烷、2‑巯基苯并噻唑、羟基苯并噻唑、氯铂酸异丙醇溶液、亚磷酸酯类化合物、溶剂A和溶剂B。本发明含硅缓蚀剂组合物制备方法为将甲基苯基含氢聚硅氧烷、2‑巯基苯并噻唑和羟基苯并噻唑加入到溶剂A中，在70~80℃时滴加氯铂酸异丙醇溶液，在氮气保护下反应4~10小时，反应混合物去除溶剂后，得到一次产物M；将一次产物M加入溶剂B中，然后加入亚磷酸酯类化合物，在50~80℃，搅拌1~5小时，即得本发明缓蚀剂。本发明缓蚀剂组合物具有更好的热稳定性、环境适应性和更强的吸附成膜特性，用量低、持续抗腐蚀性好。

主权项

一种含硅缓蚀剂组合物，其特征在于所述缓蚀剂组合物原料包括：5~25质量份甲基苯基含氢聚硅氧烷、0.1~2质量份2‑巯基苯并噻唑、0.1~3质量份羟基苯并噻唑、0.01~0.1质量份氯铂酸异丙醇溶液、1~20质量份亚磷酸酯类化合物、100~500质量份溶剂A和100~500质量份溶剂B，所述溶剂A为正庚烷、异庚烷、异辛烷中的任一种，所述溶剂B为甲苯、正辛烷、二甲苯、正辛醇、异辛醇中的任一种。