[发明专利]一种含硅缓蚀剂组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种含硅缓蚀剂组合物，其特征在于所述缓蚀剂组合物包括：5~25质量份甲基苯基含氢聚硅氧烷、0.1~2质量份2-巯基苯并噻唑、0.1~3质量份羟基苯并噻唑、0.01~0.1质量份氯铂酸异丙醇溶液、1~20质量份亚磷酸酯类化合物、100~500质量份溶剂A和100~500质量份溶剂B。

2.根据权利要求1所述的含硅缓蚀剂组合物，其特征在于：所述缓蚀剂组合物包括5~15质量份甲基苯基含氢聚硅氧烷、0.25~1.0质量份2-巯基苯并噻唑、0.5~2.0质量份羟基苯并噻唑、0.025~0.075质量份氯铂酸异丙醇溶液、5~15质量份亚磷酸酯类化合物、100~350质量份溶剂A和100~350质量份溶剂B。

3.根据权利要求1所述的含硅缓蚀剂组合物，其特征在于：所述缓蚀剂组合物包括5~10质量份甲基苯基含氢聚硅氧烷、0.5~0.75质量份2-巯基苯并噻唑、0.8~1.0质量份羟基苯并噻唑、0.05~0.075质量份氯铂酸异丙醇溶液、8~12质量份亚磷酸酯类化合物、150~250质量份溶剂A和150~250质量份溶剂B。

4.根据权利要求1所述的含硅缓蚀剂组合物，其特征在于：所述甲基苯基含氢聚硅氧烷，分子量1000~10000，活性氢含量为0.2wt%~2.0wt%，以主链上的摩尔分数计苯基含量为1%~5%。

5.根据权利要求1所述的含硅缓蚀剂组合物，其特征在于：所述甲基苯基含氢聚硅氧烷，分子量为1000~5000，活性氢含量为0.2wt %~1.0wt%，以主链上的摩尔分数计苯基含量为1%~2.5%。

6.根据权利要求1所述的含硅缓蚀剂组合物，其特征在于：所述甲基苯基含氢聚硅氧烷，分子量为1500~3500，活性氢含量为0.3wt %~0.5wt%，以主链上的摩尔分数计苯基含量为1.5%~2.5%。

7.根据权利要求1所述的含硅缓蚀剂组合物，其特征在于：所述亚磷酸酯类化合物选自亚磷酸一苯二异辛酯、亚磷酸三苯酯、亚磷酸三辛酯中的一种或两种以上的混合物。

8.根据权利要求1所述的含硅缓蚀剂组合物，其特征在于：所述亚磷酸酯类化合物亚磷酸一苯二异辛酯、亚磷酸三辛酯。

9.根据权利要求1所述的含硅缓蚀剂组合物，其特征在于：所述溶剂A为正庚烷、异庚烷、异辛烷中的任一种，优选正庚烷。

10.根据权利要求1所述的含硅缓蚀剂组合物，其特征在于：所述溶剂B为甲苯、正辛烷、二甲苯、正辛醇、异辛醇中的任一种，优选甲苯。

11.根据权利要求1所述的含硅缓蚀剂组合物，其特征在于：氯铂酸异丙醇溶液中Pt含量为0.1~1.5wt%，优选0.1~0.5wt%。

12.权利要求1~11中任一权利要求所述有机硅缓蚀剂组合物制备方法，包括如下步骤：

(1)在搅拌条件下，将甲基苯基含氢聚硅氧烷、2-巯基苯并噻唑和羟基苯并噻唑加入到溶剂A中，然后升温，在70~80℃时滴加氯铂酸异丙醇溶液，在氮气保护下反应4~10小时，反应混合物去除溶剂后，得到一次产物M，保证产物M中残余活性氢含量小于0.05wt%；

(2)将一次产物M加入溶剂B中，然后加入亚磷酸酯类化合物，在50~80℃，搅拌1~5小时，即得所述含硅缓蚀剂组合物。