[发明专利]一种0.5THz波纹喇叭天线及利用MEMS工艺进行制备的方法无效

专利信息
申请号: 201310505614.0 申请日: 2013-10-24
公开(公告)号: CN103560326A 公开(公告)日: 2014-02-05
发明(设计)人: 刘埇;卢宏达;高子健;赵鹏飞;李庆;吕昕 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: H01Q13/02 分类号: H01Q13/02;B81B7/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种0.5THz波纹喇叭天线及利用MEMS工艺进行制备的方法,适用于太赫兹波段成像系统或短距离太赫兹通信系统。本发明的天线提出了多个具有有益效果的结构:扩张的喇叭,与波导相比可以提高辐射效率和方向图旋转对称性;“V”形波纹槽,截断表面电流,有效的提高增益的同时可以降低天线周围金属结构对天线性能的影响;定位凹槽,可保证天线在安装对接时的精确对位;喇叭喉部的台阶,可以显著提高喇叭结构的设计自由度,降低上下两层硅片的对位误差对天线性能的影响,提高加工成品率。通过上述思路设计和实现的太赫兹天线适用性广,易于形成阵列,易于固定和测试。本发明的天线工作在450GHz~530GHz频带内,天线驻波小于1.6,带内增益大于15dB,最高增益可达16.6dB。
搜索关键词: 一种 0.5 thz 波纹 喇叭天线 利用 mems 工艺 进行 制备 方法
【主权项】:
一种0.5THz波纹喇叭天线,其特征在于:该天线为一长方体,在长方体相邻的两个侧面各开有一个定位凹槽,在长方体的上表面正中心位置有喇叭结构,喇叭结构的下方为波导,喇叭结构与波导之间用台阶相连,在喇叭结构的两侧各有两个波纹槽;波纹槽为V形。
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